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太阳能硅片工艺详解 太阳能硅片切割是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分。该工 艺用于处理单晶硅或者多晶硅的固体硅锭。线锯首先把硅锭切成方 块，然后切成很薄的硅片。(图 1)这些硅片就是制造光伏电池的基板。 图 1.硅片切割的 3 个步骤： 切料, 切方和切片 硅片是晶体硅光伏电池技术中最昂贵的部分，所以降低这部分的 制造成本对于提高太阳能对传统能源的竞争力至关重要。本文将对硅 片切片工艺、制造业的挑战和新一代线锯技术如何降低切片成本做一 个概述。 线锯的发展史 第一台实用的光伏切片机台诞生于 1980 年代，它源于 Charles Hauser 博士前沿性的研究和工作。Charles Hauser 博士是瑞士 HCT 切片系统的创办人，也就是现在的应用材料公司 PWS精确硅片处理系 统事业部的前身。这些机台使用切割线配以研磨浆来完成切割动作。 今天，主流的用于硅锭和硅片切割的机台的基本结构仍然源于 Charles Hauser 博士最初的机台，不过在处理载荷和切割速度上已 经有了显著的提高。 切割工艺 现代线锯的核心是在研磨浆配合下用于完成切割动作的超细高 强度切割线。最多可达 1000 条切割线相互平行的缠绕在导线轮上形 成一个水平的切割线“网“。马达驱动导线轮使整个切割线网以每秒 5 到 25 米的速度移动。切割线的速度、直线运动或来回运动都会在 整个切割过程中根据硅锭的形状进行调整。在切割线运动过程中，喷 嘴会持续向切割线喷射含有悬浮碳化硅颗粒的研磨浆。 图 2. 硅块通过切割线组成的切割网. 硅块被固定于切割台上，通常一次 4块。切割台垂通过运动的切 割线切割网，使硅块被切割成硅片(图 2)。 切割原理看似非常简单， 但是实际操作过程中有很多挑战。线锯必须精确平衡和控制切割线直 径、切割速度和总的切割面积，从而在硅片不破碎的情况下，取得一 致的硅片厚度，并缩短切割时间。 图3.线切割机电源设备 减少硅料消耗 对于以硅片为基底的光伏电池来说，晶体硅(C-Si)原料和切割成 本在电池总成本中占据了最大的部分。光伏电池生产商可以通过在切 片过程中节约硅原料来降低成本。降低截口损失可以达到这个效果， 截口损失主要和切割线直径有关，是切割过程本身所产生的原料损 失。切割线直径已经从原来的 180-160µm 降低到了目前普遍使用的 140-100µm 。降低切割线直径还可以在同样的硅块长度下切割出更多 的硅片，提升机台产量。 让硅片变得更薄同样可以减少硅原料消耗。在过去的十多年中， 光伏硅片的厚度从原来的 330µm 降低到现在普遍的 180-220µm 范围 内。这个趋势还将继续，硅片厚度将变成 100μm. 减少硅片厚度带 来的效益是惊人的，从 330μm 到 130μm， 光伏电池制造商最多可 以降低总体硅原料消耗量 多达 60%。 制造业的挑战 在硅片切割工艺中我们需要面对多项挑战，主要聚焦于线锯的生 产力，也就是单位时间内生产的硅片数量。生产力取决于以下几个因 素： （1） 切割线直径 　 更细的切割线意味着更低的截口损失，也 就是说同一个硅块可以生产更多的硅片。然而，切割线更细更容易断 裂。 （2） 荷载 　 每次切割的总面积，等于硅片面积 X每次切割的 硅块数量X 每个硅块所切割成的硅片数量 。 （3） 切割速度 　 切割台通过切割线切割网的速度，这在很大 程度上取决于切割线运动速度，马达功率和切割线拉力。 （4） 易于维护性 　 线锯在切割之间需要更换切割线和研磨 浆，维护的速度越快，总体的生产力就越高。 生产商必须平衡这些相关的因素使生产力达到最大化。更高的切 割速度和更大的荷载将会加大切割切割线的拉力，增加切割线断裂的 风险。由于同一硅块上所有硅片是同时被切割的，只要有一条切割线 断裂，所有部分切割的硅片都不得不丢弃。 然而，使用更粗更牢固 的切割线也并不可取，这会减少每次切割所生产的硅片数量，并增加 硅原料的消耗量。 硅片厚度也是影响生产力的一个因素，因为它关系到每个硅块