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圆和圆柱轮廓超精密测量技术研究进展 谭久彬，赵堆谦，杨文国 (暗尔滨工业大学自动化测试与控翻景哈尔滨1．如001) 提●体文首先提出了超精密和蚋米糖度暖和■拄轮廓翻量中存在的若干理论问题 和关t技术同■。主要包括基准运动丽期复现性；圈轮廓舅量中的谐披抑■；空问谩差分青 ■柱轮■蔫量中基准问误差的识别与分青；一柱轮廓测量中的信息完整性问题。)且一 ， 论支主要介绍了■和圈柱轮廓超糖考舅量技术的矸兜进晨。它包括无谐波抑棚谩差分 膏技术；直行基准空闻运动的獭光监涮技术；基准问谩差分离技术；圈和暇柱轮廓的精确测 量纂蔓与术■技木辱。 论文量后晨望了有前景的新测量技术，如基于共煮量截技术的轮廓测量方法；基于羹尔 齿和光●投髟的■■光塌分析法薄。 t- 1引言 随着现代工业技术，特别是现代国防工业技术的迅速发展，人们不断追求产品的高性能、高质 量，因而对涓量仪器的依赣程度越来越高，当然对舅量仪器精度水平的要求也越来越高。这为超 精密测量技术与仪器技术提供了更为广阔的应用前景和发晨空问．同时，也对其提出了更为