三氯氢硅生产工艺的改进.pdfVIP

第 45卷 　第 3期 氯 碱 工 业 Vo l. 45 ,No. 3 2009年 3 月 　　　　 　　　　　　　Ch lor - A lkali Indu stry 　　 　　　　　　　　　 M ar. , 2009 【产 　品 】 三氯氢硅生产工艺的改进 聂少林 (江西赣中氯碱制造有限公司 ,江西 樟树 33 1208) 　　[关键词 ] 三氯氢硅 ;生产工艺 ;精馏 ;氯化氢 ;干燥 ;合成工艺 ;尾气 [摘 　要 ] 针对三氯氢硅合成 、精馏中存在的技术问题进行了改进 ,并介绍了技改取得的效果 。 [中图分类号 ] TQ 127. 2　　[文献标志码 ] B 　　[文章编号 ] 1008 - 133X (2009) 03 - 0030 - 03 Im provem en t of tr ichloro silan e production proce ss N I E S hao - lin (J iangxi Ganzhong Ch loro - A lkali Co. , L td. , Zhangshu 33 1208, Ch ina) Key words: trich loro silane; p roduction techno logy; rectification; ch lorine hydride; drying; syn thetic p roce ss; tail ga s Ab stract: The techn ical imp rovem en t ha s been carried ou t in view of the p rob lem s existing in trich lo ro silane syn the sis and rectification. A nd the effect gained by the techn ical imp rovem en t is in troduced. ( 　　江西赣中氯碱制造有限公司 以下简称 “赣中 ) 氯碱 ”原有的 3 万 t/ a 三氯氢硅生产装置 自 2002 年投产以来 , 自动化程度低 ,造成工人劳动强度大 、 检修频繁 、生产率低 , 产量始终达不到设计能力 。 2007年年底 , 根据市场需求和平衡公司氯气的需 要 ,赣中氯碱决定新建 2 万 t/ a三氯氢硅装置 ,并提 1—氯化氢合成炉 ; 2 —氯化氢冷却器 ; 3—气液分离器 ; 4 —除雾器 高自动化水平 。 图 1　技改前的氯化氢合成工艺流程 1　生产工艺 1. 2 　三氯氢硅合成生产工艺 三氯氢硅生产主要有 3个工序 :氯化氢合成 、三 [ 1 ] 硅粉经真空装置吸入硅粉干燥器 ,加热至一定 氯氢硅合成 、三氯氢硅精馏 。 1. 1　氯化氢合成生产工艺 的温度 ,用氮气压入三氯氢硅合成炉 ,与通入的氯化 自加氢工段送来的合格氢气和液氯工段送来的 氢气体在一定的温度下反应 ;生成的气体经网袋过 氯气 ,按照一定比例在铁合成炉内燃烧生成氯化氢 滤器 、空冷器 、两级冷凝器得到粗品三氯氢