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- 2017-08-17 发布于江西
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CoSi_2超薄外延膜的生长研究new.pdf
第 19 卷第 3 期 半 导 体 学 报 . 19, . 3
V o l N o
1998 年 3 月 . , 1998
CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S M ar
2 超薄外延膜的生长研究
CoSi
1
姚振钰 张国炳 秦复光 刘志凯 张建辉 林兰英
( 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室 北京 100083)
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