激光全息光刻技术及其应用.pdfVIP

激光全息光刻技术及其应用 宋登元 河北大学电子与信息工程系 保定 ! #$%##’ 王小平 张家口职工大学 张家口 ! #$(###’ 摘要 论述了激光全息光刻技术的基本原理 发展状况和在制备衍射光栅及场发射平板显示器等光电子器件 ) 方面的应用* 关键词 激光 全息光刻 光电子器件 中图分类号+ .#(/$ 文献标识码+ 文章编号+%##.1.(. !###’1%31#. ,- 0 2 456789:;:85=?@4?A:85=B5CDE==;?@5A?:C6