溶胶_凝胶法制备BaTiO_3薄膜的研究.pdfVIP

第7 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.23 No.7 2004 年7 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Jul. 2004 电 子 陶 瓷 溶胶–凝胶法制备BaTiO3 薄膜的研究 宋建静，曲远方 （天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室，天津 300072） 摘要:以醋酸钡和钛酸丁酯为原料，应用溶胶–凝胶法在Al O 基片上制备了BaTiO 薄膜。具体分析了原料、溶 2 3 3 剂、催化剂、溶液的pH 值、螯合剂和表面活性剂对溶胶–