聚合物前驱体法制备铌酸钾钠薄膜.pdfVIP

元 料 、，01．28 第28卷第9期 电 子 件 与 材 No．9 2009年9月 ELECTRONICCOM【PoNENTSANDⅣ【ATERIALS Sep．2009 聚合物前驱体法制备铌酸钾钠薄膜 刘培新1，一，朱孔军1，胡秀兰3，裘进浩1，纪士东2，3 (1．南京航空航天大学，江苏南京21 南京21 0016；2．南京工业大学，江苏 0009；3．日本产业技术综合 研究所，名古屋463--8560，日本) 摘要：以加入和不加入草酸铵两种方法制备氢氧化铌．以碳酸钾、碳酸钠和制得的氢氧化铌为原料，柠檬酸为 螯合荆，乙二醇为酯化剂，通过聚合物前驱体法在Si02／Si基板上制备了铌酸