利用电解法制备针尖地研究.pdfVIP

利用电解法制备针尖的研究* 王明环 朱 荻 张朝阳 南京航空航天大学机电学院 南京 210016 摘要：用电化学方法制备针尖，在深入分析电化学腐蚀原理的基础上，采用LabVIEW 软件编程对腐蚀过 程进行控制。通过对试验参数如电压、电解液浓度、腐蚀时间等进行调节，加工出不同形状和尺寸的针 尖，试验同时分析了各种加工参数对试验结果的影响。最后，利用此种方法制备出尺寸在微米级以下的 针尖和长2.1 mm、直径28 μm 的钨微细圆柱体结构，并在微孔加工中作为电极使用。 关键词：电化学方法 针尖 LabView 微孔 0 前言* 随着机械设备向微型化发展要求的不断提高，零件尺寸越来越向微小型方向发展，因此，对于 微型零件的制备方法及相关领域的研究和应用越来越受到重视。当今，对微细加工的研究越来越广 泛，尤其是航空航天，精密仪器，生物医学等领域。 微细加工中非常一个重要的环节就是微细电极的制备，它决定着微加工所能达到的尺寸和精 [1,2] 度。在微细加工中所使用的电极形状多为圆柱状，也有利用扫描隧道显微镜探针做电极的 ，因此， 能否制备出较高性能的电极对微细加工起着至关重要的作用。然而，由于微细电极尺寸的限制，使 得其制备十分困难。目前用来制备微电极的方法主要是线电火花磨削法 WEDG [3,4] ，并制备出一定 [5~7] 直径的微圆柱体 ，然而电火花磨削法，电极的