3、4线中温区调整实验报告.pptVIP

去PSG工艺及影响因素 工艺技术部 张 泽 2011-01-07 实验安排 实验时间：2010-11-10~2010-11-15 实验工艺： 实验温度：221/250 300 350/570 590 600 610 840 940/45 3线原始温度： 221/250 300 350/495 595 605 770 820 910/45 4线原始温度： 221/250 300 350/495 590 605 770 820 910/45 实验安排：分别用实验温度在3线和4线连续各跑3天(即：3线跑实验温度时，4线跑其原始温度；4线跑实验温度时，3线跑其原始温度)，实验连续进行6天。与实验前3天3、4线各自用原始温度跑的数据做对比。 电性能对比——黄色部分为实验温度数据，红色数据为3（4）线实验时，4（3）线用正常温度跑的数据，绿色数据为未进行实验时3、4线用各自温度跑的数据 * 设备编号 平均值 不良率（%） Isc Uoc Rs Rsh IRev2 FF Eta 3# 7.833925 0.613549 0.001442 498.9555 0.412418 78.43057 15.49152 1.1061 7.86313 0.614611 0.001552 542.6681 0.178842 78.33704 15.55763 0.896108 7.853545 0.612378 0.001847 529.5469 0.200114 78.19516 15.45433 1.138334 4# 7.831773 0.61209 0.00162 448.4866 0.361163 78.39133 15.44241 0.946747 7.801632 0.61207 0.001617 585.6529 0.168332 78.41547 15.38742 1.270953 7.822435 0.612031 0.001668 488.0557 0.248465 78.41009 15.4264 1.321685 3#-4# 0.002152 0.001459 -0.00018 50.46895 0.051255 0.039238 0.049107 0.159353 0.061498 0.002541 -6.6E-05 -42.9848 0.01051 -0.07843 0.17021 -0.37484 0.03111 0.000347 0.000178 41.49125 -0.04835 -0.21493 0.02793 -0.18335 1、实验前，3线比4线效率略高0.05%，Isc、Uoc等无明显差异； 2、3线使用实验温度之后，相比4线效率高出0.17%，由0.05%进一步加大了3、4线之间的效率差异；且Isc提升60mA左右，Uoc提升1mV左右；且不良率也明显下降。 3、4线使用实验温度之后，相比3线效率差异由0.05%缩短至0.028%；但Isc反不如3线高（可能因4线设备限制致使铝浆湿重始终偏低引起）。 炉温曲线及背场图片 * 实验温度的炉温曲线与前次在1线实验的结果一样，Al背的SEM图片也与上次结果相似，未能观察到BSF层，这里省略其对比图。 * 实验温度可提高3线Isc从而提高转换效率，同时降低不良率； 实验温度可提高4线转换效率，但Isc、Uoc及不良率无明确改善；4线背铝印刷台有待设备调试，其湿重始终无法达到正常工艺要求，可能因此导致4线效率始终低于3线。 BSF未能观察到，有待进一步想办法制样、观察。 结论