AceryLS基于B的半导体器件自动测试系统.docVIP

Headline Acery LS1500 基于B1500A/1505A的FET器件测试自动测试系统 ——解决圆片级半导体器件直流参数全自动测试问题 ——北京航天新锐科技有限责任公司 IMAGE OF SOLUTION Body Copy 系统概述 随着市场对半导体功率器件需求量的增加，传统的测试封装功率器件的方法已经不能满足市场量的需求，功率器件的测试逐步延伸至晶圆片级的测试，从而为半导体器件生产质量提高及生产工艺改进提供大量测量数据。 LS1500系列圆片级半导体器件直流参数全自动测试系统有两个系列型号：LS1500A和LS1505A。LS1500A和LS1505A系统典型配置见表1： 型号 LS1500A LS1505A 测量仪器 B1500A 半导体器件分析仪 B1505A 功率器件图示仪/分析仪 B1510A高功率模块 B1510A高功率模块 B1511A中功率模块 B1512A大电流模块 E5250A 低泄漏矩阵开关 E5250A 低泄漏矩阵开关 E3631A 程控电源 E3631A 程控电源 LS1500-00 系统电缆 LS1500-05 系统电缆 其它设备 探针台（第三方产品） 探针台（第三方产品） B1505A功率器件图示仪/分析仪和B1500A半导体器件分析仪是是德公司生产的在半导体测试领域的功能强大的测试仪器，可以