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粒子计数器传感器.doc
激光尘埃粒子计数器传感器
激光尘埃粒子计数器(以下简称计数器)是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。其广泛应用于医药、电子、精密机械、彩管制造、微生物等行业,实现对各级别的工作台、净化室、净化车间的净化效果和洁净级别进行监控,以确保产品的质量。
计数器主要由光电传感器、计数和显示电路、气泵、显示屏、打印机及电源等部分组成。其中光电传感器(以下简称传感器)是计数器实现粒子测量的核心部件。其主要组成包括半导体激光光源、汇聚透镜、光阑、光陷阱、球面反射镜、半导体光电探测器、前置检测电路、进出气嘴及必要的机加件,如图所示。
传感器的工作原理是气流通过传感器测量腔时,气流中的颗粒在激光的照射下发生散射,散射光由光电探测器接收,根据粒子散射信号的强度来判断粒子大小。因此传感器的性能优劣直接决定了粒子计数器的性能。
本实验室专注于传感器的研究已有20余年,积累了大量的技术经验,传感器各项指标国内领先,且远高于国标 《尘埃粒子计数器性能试验方法》μm) 0.3/0.5~10 0.5~10 0.5~10 粒径分布误差 0.4μm≤5%
0.5μm≤10%
0.6μm≤10% 0.4μm≤5%
0.5μm≤15%
0.6μm≤15% 0.4μm≤5%
0.5μm≤20%
0.6μm≤20% 粒径示值误差 ≤30%FS ≤30%FS ≤30%FS 自净时间 ≤3min ≤10min ≤15min 允许最大工作浓度
(颗/L) 35000 35000 35000
南京理工大学洁净环境检测实验室
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