纳米TiO-%2c2-薄膜紫外吸收特性地研究.pdfVIP

2902 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷 纳米TiO2 薄膜紫外吸收特性的研究* ∗ 1 1 2 1 1 2 2 2 邹 博 ，吴凤清 ，阮圣平 ，邹乐辉 ，王竹仪 ，刘彩霞 ，甘 勇 ，徐宝琨 (1.吉林大学 化学学院，吉林 长春 130023 ；2.吉林大学 电子科学与工程学院，吉林 长春 130023) 摘 要：选用不同材料做衬底，使用溶胶－凝胶法 12h 待用。用以上方法，我们分别制备了Ti (OC H ) 4 9 4 制备纳米TiO2 薄膜，并采用XRD 、AFM 、UV 、SPS 占总体积 20% 、15% 、10% 、5%、8%的溶液，并制 对薄膜进行表征。在 500℃以上焙烧2h 后，即可获 膜比较[3~5] 。 得锐钛矿型 TiO2 薄膜，粒径 15nm 左右，紫外吸收 2.2 薄膜的制备 光谱分析表明，薄膜在 220~350nm 处有较强的紫外 我们将准备涂膜的基片分别用蒸馏水和有机溶 吸收。 剂在超声波振荡清洗器其中振荡清洗 15min，然后取 关键词：TiO2 薄膜；紫外吸收；光伏效应 出阴干，置于干燥器中干燥待用。采用KW-4A 型台 中图分类号：O612.4 文献标识码：A 式匀胶机 （中国科学院微电子中心研究部）匀胶方式 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-2902-03 涂膜。将匀胶机固定平稳，将经过处理干燥的基片固 定于台式匀胶机的载物台上，再向基片上中心部分滴 1 引 言 加适量制备好的溶液，开动匀胶机，待匀胶过程结束 传统的光电倍增管式的紫外传感器存在体积大、 后将涂好膜的基片至于烘箱中干燥再经过高温焙烧 功耗高、响应速度慢、寿命短、易损坏等缺点，已不 2h 后自然冷却即得到纳米 TiO2 薄膜。在进行多层膜 能适应现代高速信息化对各类紫外传感器的需要。本 涂覆时我们采用了两种方法，一种是每涂膜一层经过 文利用ＴiO2 具有选择吸收紫外光及其光伏特性。以 烘干后涂覆第二层，直至达到所需层数；另外一种方 石英玻璃及ITO 玻璃及硅片为衬底材料，使用sol-gel 法是烘干再经过高温焙烧之后才涂覆第二层。 法制备ＴiO2 薄膜，并对其紫外光吸收特性进行了研 2.3 薄膜的表征 究，取得良好结果，为进一步研制ＴiO2 薄膜紫外光 （1）薄膜的晶体结构使用日本岛津LabX XRD [1,2] －600 型X 射线衍射仪测定。 传感器提供了实验依据 。 （2 ）采用美国Park Scientific Instrument 公司的 2 实 验 原子力显微镜对薄膜表面形态进行分析。 （3 ）用澳大利亚cintra 10e 紫外－可见分光光谱 2.1 溶液的制备 仪对薄膜紫外吸收性能进行测定。 室温下按一定比例将Ti (OC H ) （CP ，北京化