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光电子技术（5） 工作物质：氦气（~1乇）+氖气（0.1乇）混合气体 激活介质:氖原子 能级结构:四能级系统,如图: E1=2p6,E2=1S,E3=2P,3P E4=2S,3S，这些激发态能级都有丰富的精细结构。 He Ne 1s2 23s1 21s0 2p6 3s1 3p1 4s1 4p1 5s1 2S a b c 1S 2S 3S 2P 3P 发射波长:3.39?m(a),0.6328 ?m(b) 1.15 ?m(c).其中3.39?m的增益最高， 通常用玻璃窗抑制3.39?m发射或加轴 向非均匀磁场。 泵浦：气体辉光放电激励，氦原 子共振能量转移。 光电子技术（5） 二、氦-氖激光器的稳频 氦-氖激光器的波场常用于长度计量标准，所以要求氦-氖激光器的波长稳定，即稳频。频率取决于谐振腔的光程长度，而光程长度由几何长度和折射率乘积确定，而折射率的稳定不容易控制。所以，通常控制腔的几何长度。 如何设置标准频率？ 一种是利用兰姆凹陷，即功率-频率关系，另外也可外设置 参考频。 腔长的补偿：利用压电陶瓷控制腔的全反射端镜微位移。位 移量由频率漂移量确定。 光电子技术（5） 三、He-Ne激光的谐振腔 谐振腔有三种结构：内腔式、外腔式和半内腔式。 内腔式：谐振腔的两端镜焊接在玻璃外壳上，主要用于小功 率短腔结构。 特点：使用方便，输出激光为非偏振。 外腔式：玻璃管两端用布儒斯特窗玻璃封装，谐振腔的两端 镜外加，可以独立调节。 特点：输出线偏振光，功率大，但需要经常维护。 半内腔式：谐振腔的一个端镜与玻璃壳焊接在一起，而另 一个端镜可自由调节。 光电子技术（5） 特点：输出线偏振较好，适合中等功率，维护较容易。 §2.5、二氧化碳激光器 CO2激光器是一种高效率中红外激光器 一、工作原理 工作物质：CO2：N2：He=3:2:5的混合气体，总压强10乇 激活物质：CO2 能级结构：四能级，如图。E1=0000，E2=0110， E3=1000，0200，E4=0001。 辐射跃迁：P支27条线（ 0001 1000，?J=+1），波长10.44-11.01?m,R支26条线(0001 1000，?J=-1),波长9.12-9.36?m,Q支禁戒. r V（r） 准分子能级结构 光电子技术（5） 辐射跃迁: 0001 0200 跃迁,P支29条线,波长9.42-9.94 ?m,R支 28条线,波长9.12-9.36 ?m。 由于CO2的跃迁可产生26+27+28+29条谱线，自然竞争时只输出P（22），然而，通过选频可输出每条谱线。常用闪耀光栅实现精确选频。 二、选频 三、泵浦 泵浦：N2辉光放电辅助泵浦 纵向激励：电场方向平行于光束方向，适用于中小功率 横向激励：电场方向垂直于光束方向，适用于高气压（400乇）大 输出波长：由于增益自然竞争，只有0001?1000中P(22)最强谱线输出,波长10.61 ?m。 光电子技术（5） 四、谐振腔结构及金膜 内腔式：适用于小型或波导型。 半内腔式：适用于中等功率。 外腔型：适用于大功率。 功率CO2激光器 无论哪种腔结构，端镜均镀金反射膜。 §2.6、氩离子激光器 一、工作原理 光电子技术（5） 工作物质：惰性气体氩气 激活介质：Ar+ 能级结构：四能级，如图：E1=3p5,E2=4s,E3=4p,E4=5s,4d,... 激光发射：4p 4s发射10条谱线，其中5145和4889唉两条谱线 增益最大,优先起振. 泵浦:低压大电流弧光放电使氩原子电离，离子-离子,离子-电子 碰撞,激发过程可能是一步,也可能是两步或多步过程. 二、等离子管结构 由放电管、磁场组成。其中放电管要求具有优良的传热性能， 目前，中小功率激光器的放电管使用石墨，而大功率激光器的 光电子技术（5） 放电管则使用氧化铍陶瓷，但这种材料粉末有毒，加工困难， 所以价格贵。放电管的直径约2-6毫米。 轴向磁场的作用，磁约束Ar+在放电管轴心，不要碰放电管壁 而去激发。 三、启动 高压内触发。 §2.7、准分子激光器 所谓准分子指处于激发态的复合分子，而在基态寿命很短。 一、工作原理 光电子技术（5） 工作物质：惰性气体或惰性气体、卤素元素混合物或金属、 卤素元素混合物。 激活介质：准分子，如Xe2, KrF, HgBr 能级结构：等效为四能级结构，如图，上能级为激发态能级， 下能级为弱结合的基态能级，由于基态寿命很短，在100飞秒 量级，所以基态几乎空，粒子数反转容易，量子效率接近100% 泵浦：（1）高能电子束，（2）电子束控制放电，（3）快放电 由于激光上能级寿命短，要求快速泵浦。 输出波长：带宽较宽，因下能级斜率大。 特点：高效率，大能量，已获得350J/脉冲输