扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构地研究.pdfVIP

第25卷第4期 电子显微学报 V01．25。No．4 2006年8月 ofChineseElectron 2006—8 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000．6281(2006)04．0313—03 扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究 徐平，蔡微，余威，钱建强，姚骏恩 (北京航空航天大学理学院，北京100083) 摘要：介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM)，并利用该装置对 貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法，并给出了具体的实验结果。 关键词：超声检测技术；扫描探针显微技术；扫描近场声显微镜；CD—R光盘膜 中图分类号：TH742；rl-G115．21+5．7；TB383文献标识码：A 超声检测技术在材料特性分析中有着广泛的应 臂作为超声波信号发生器或探测器(图1b)。当探 用。利用超声波照射样品，通过换能器收集反射、透 针作为信号发生源时，通过给探针施加激励信号，使 射或散射信号，就可以获得材料的各种特性，如内部 探针以一定频率敲击样品，在样品表面微小区域产 的微结构和缺陷等。然而，由于衍射效应，传统的探 生超声波，该超声信号透过样品后，由压电换能器接 测方法分辨率不高。根据超声波的波长，一般声学 收成像no。这种装置在有些文献中也被称为原子力 方法的分辨率在毫米量级左右u。，因此无法实现在 声显微镜(atomicforceacoustic 更精细尺度上对样品性质的显微观察分析。 考虑到在该装置中超声信号的激励和接收均在近场 force 原子力显微镜(atomic 区域，同时采用点激励或点接收方式，因此本文将其 microscope，AFM)是 一种常用的显微观察分析装置，可对样品进行纳米 称为扫描近场声显微镜(SNAM)。 尺度上的观察分析。但这种显微镜～般只能观察样 由上述工作原理可知，基于AFM的扫描近场声 品的表面形貌，而对表面以下的结构却难以分析心1。 显微镜根据信号收发方式不同有两大类，其中采用 将超声检测技术与原子力显微技术结合，构成的扫 针尖敲击方式的SNAM由于在测量过程中需要产生 near-filedacoustic一定强度的超声信号，对样品表面有一定损伤，一般 描近场声显微镜(scanning 只能观察表面硬度较高的样品；同时受微悬臂共振 microscope，SNAM)可以实现对样品表面以下的结构 进行纳米量级的显微分析，可广泛应用于各种材料 频率和强度的限制，其产生的超声信号带宽较窄，强 的微观特性测量，内部微结构和缺陷检测分析等领 度也较弱，而且针尖磨损程度也较大。而采用换能 域∞’41，具有很高的应用价值。 器激励方式的SNAM，可以较方便地采用宽带换能 器，产生高强度的激励信号；同时，微悬臂探针可以 1扫描近场声显微镜 采用接触、非接触或轻敲等多种方式检测超声信号 扫描近场声显微镜是在原子力显微镜基础上发 透过样品后引起的信息变化，对针尖和样品的损伤 展起来的，一种典型方法是在原子力显微镜的扫描 较小，适合观察生物细胞等柔软样品¨’9。。因此本研 器和样品之间放置压电换能