提高微孔电解加工性能地研究.pdfVIP

2。誉霉5全国博士生学术论坛 提高微子L电解加工性能的研究 王明环朱获张朝阳 (南京航空航天大学机电学院南京210016) 摘要：详细分析了电解加工中影响微孔性能的主要因素，采取具有微螺旋槽的微螺旋电极作阴极，混合性溶液(NaCl03+ H2S04)为电解液；在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下，有效地排除加工间隙内的产物。加工稳定性、效率 和加工精度得到了显著的提高。 关键词：微孔电解加工加工稳定性加工电极 中图分类号：TG662 文献表示码：A IMPROVEMENToFELECTRoCHEMICALMACHINING FORMICRo．HoLE WANG Di，XU Ming-huan，ZHUHui-yu ofAeronauticsand University (Nanjing Astronautics，Nanjing，210016) the in are in Abstract：Mainfactorsthataffect ofmicro-holeelectrochemical discusseddetail．The performances machining cmhodewiththehelix and betweenelectrodesoff under groovemix—solution(NaCt03+HzS04)areused．Sludge is诵pedcompletely theeffectof‘microhelix asmicrohelix mixture calldecreasethe of pump’，whichforming turning．Theelectrolyte sludge． quantity and are improvedgreatly． Stability,efficiencyaccuracy electrochemical helix Keywords：Micro groove，efficiency,electrode machining,micro 1 前言 物往往难以排出，容易发生短路，致使加工难以进 随着微机电系统(MEMS)的发展以及制造技行或加工精度低下，因此有必要研究一种方法来改 术向精密、微细方向发展要求的不断提高，零件的 善电解加工的过程，提高加工稳定性和效率。 尺寸越来越趋于微小型化，因此对于微机械加工的 针对微孔电解加工中间隙小、产物排出困难的特 研究和应用也越来越受到重视，尤其在航空航天， 点，可以采用酸性电解液，它可以有效的降低电解产 精密仪器，生物医学等领域…。电解加工是以离子 物的量，但酸性溶液的散蚀能力大，造成加工的定域 的形式对材料进行蚀除的，在微细加丁中显示出其 性较差。NaNO，和NaCl03等钝化性电解液，由于在 独有的优势，因此在]bn]i领域受到了极大的关注。 电流较小的非加工区其电流效率低，工件溶解量甚 它具有刀具无损耗、加工后工件无残余应力、无变 微，所以散蚀能力小，常常在微细加工中得到应用。 形、加工表面质量好等优点，能够克服电火花加工、 综合产物排出和提高定域性两方面考虑，采取盐 激光加工以