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用于真空微波器件的热阴极曲率半径测试研究 刘燕文田宏张明晨李玉涛邹涛刘胜英董芳张洪来 (中国科学院电子学研究所 北京100080) 摘要：阴极曲率半径的测试方法及曲率半径误差的产生原因进行了分析，然后利用NikonMM一40型测量显微 镜对阴极的弧度进行了测试，井对显微镜的测量误差进行了分析，最后，给出了精确测量阴极弧度的方法。 关键词t曲率半径．误差，方差 目前用于真空微波器件的阴极主要以氧化物和浸渍阴极为主“1。这两种阴极的发射面都是具有 一定曲率半径的弧面。真空微波器件的性能很大程度上决定于电子注的质量，而阴极发射面的曲 率半径将对电子柬聚焦，通过率等指标产生很大影响。因而获得一个精确的阴极发射面的曲率半 径是至关重要的。 1．曲率半径测试误差分析 阴极面的曲率半径可由yOz平面的圆的方程确定 2 (Y—a)2+(z—b)2=R (1) 式中a，b是圆心的坐标，R是阴极曲率半径。 Z y X 图，阴极面结构曲率半径结构示意图 为了方便讨论，可假设阴极弧面的最低点是在原点。这样方程就变为： 2 (2) Y2+(g—R)2=R 。薯《捌 ㈩ 曲率半径的绝对误差： △R一昙(堡△y-乓+) 2 z z。 ：(1一马垃+上缈 (4) 从公式(4)可以看出曲率半径的绝对误差来源于仪器的精度AY、Az，人眼的聚焦能力Az以及 测试点离原点的距离Y和z，对于Nikon MM-40测量显微镜来说，其横向测试精度△y0．1微米， 而Az的精度对于不同的人一般在l微米，对于一般的陵极来说，RyRz，因此，公式(4)就 简化为： 衄：一旦止 (5) 从上式可看出，要减小阴极曲率半径的误差，须降低Az，增大z。 2．实验结果及分析 我们利用NikonMM-40测量显微镜对直径为4M曲率半径约为1lmm的阴极进行了测试。 表1 10倍物镜时测量10次的坐标 心 1 2 3 4 5 6 0．000 0．000 0．012 O．012 0．013 0，0】6 O．012 0．500 0．016 0．028 0．029 0．02l 0．023 0．024 1．000 0．057 0．058 0．053 0．058 0．058 0．059 1．500 O．124 0．122 0．123 0．124 0．120 0．119 心 7 8 9 10 平均值 方差10’7 0．000 O．013 0．007 0．008 0．009 O．0102 194 0．500 0．028 0．022 O．022 0．030 0．0243 172 1．000 0．058 0．056 0．0