具有p-n结特性的La-%2c1-x-Ca-%2cx-MnO-%2c3-%2fSrNb-%2cx-Ti-%2c1-x-O-%2c3-巨磁阻多层膜的透射电镜的研究.pdfVIP

电子显微学报JChinElectr．Microsc．Soc 2004年 23(4)：403，403 03 巨磁阻多层膜的透射电镜研究 虞红春1，刘立峰2，李 莹1，田焕芳1，周玉清1，吕惠宾2，李建奇1 (中国科学院物理研究所1北京电子显微镜实验室，2光物理重点实验室，北京100080) 本文选择Nb掺杂的SrNb，Ti。O，(SNTO)作为n长，且贯穿一层或多层薄膜。图b给出LCMO／SNTO 界面的微区电子衍射花样。由于SNTO的晶胞参数 型衬底材料，利用激光分子束外延(【MBE)生长La。 稍大于LCMO的晶胞参数，白线方框所在的衍射点 Ca,MnO，(LCMO)巨磁阻薄膜作为P型材料，人工合 成了巨磁阻锰氧化物异质结。这种异质结不仅具有 存在有SNTO面间距为0．27nm晶面衍射的贡献，相 应的高指数晶面的衍射点(白色箭头标志)明显可见 良好的p-n结特性，而且具备其他特殊的物理性质。 劈裂成双点，沿着c‘轴方向较远的点为LCMO的衍 一般认为LCMO巨磁阻薄膜材料中具有负的CMR 效应，而我们的测量表明该材料的CMR值的正负与 射点，较近的点为SNTO的衍射点。图c显示 温度有关，即在低温(77K)为负的CMR效应，而在室 列规则，晶格匹配较好，观察不到缺陷和杂相的存 温(300K)下，则为正的CMR效应。且室温下也存在 明显的CMR效应，在0．1T下CMR值达到6％。为 了更好的理解巨磁阻LCMO多层膜的结构和特殊物区域度为10nm左右，分别给出Ti．L，，O．K，，Ti．k， 理性质，本文利用透射电镜对外延薄膜内部微结构， Mn．k，，La．M。的吸收峰，同时我们还进行了EDAX 异质结界面原子排列，外延取向关系等进行了初步 定量分析，结果与制备样品时的化学计量吻合。图 的观察和分析。 e是LCMO薄膜的典型选区衍射花样，电子束入射 方向沿着[1—10】带轴，沿c’轴方向，除强衍射点 圈a为LCMO／SNTO巨磁阻多层薄膜截面样品 的低倍TEM形貌像。为了得到优良的LCMO巨磁外，存在弱衍射点，反映畸变后的晶格结构，周期大 阻异质外延薄膜，在采用LMBE生长方式的同时，选小为原来ABO，钙钛矿结构的一半。图f则给出图e 择SNTO作为n型材料。因为LCMO与SNTO晶体相应区域的高分辨电子显微像，图中可见相应的沿 结构同属于钙钛矿型结构，且晶胞参数相近，LCMOc方向层状结构，层间距大小为原来ABO，钙钛矿结 =0．3846nm，SNTO=0．3905nm，由图可见，每层薄膜 构两倍的(001)面间距，即2d。)_0．769nm。 厚度均一，界面平整清晰，但明显可见薄膜呈柱状生 (001)界面的高分辨像；图d为LCMOISNTO界面的EELS谱图；图eLCMO薄膜的典型选区电子衍射图；图fLCMO薄膜 的高分辨像，可见层状结构。