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用于MePⅢD装置高压脉冲调制器.pdfVIP

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  • 2017-08-16 发布于安徽
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用于MePⅢD装置高压脉冲调制器.pdf

    第十六届全国电源技术年会论文集 Pulse ModulatorFor Hi曲Voltage MePIIID 王德泰 核工业西南物理研究院(成都610041) DetaiSouthwestern Wang Instituteof Physics(610041) 摘要：介绍用于金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)装置高压脉冲调制器的电路结构，工作原理和技术指针。 复频率10--500Hz，脉冲上升时间小于1．5ps，平顶下降小于5％。 叙词：金属等离子体浸没离子注入与沉积高压脉冲调制器主电路驱动电路辅助电源 Abstr∽t：Thisintroducescircuit and index paper

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