梯度功能铁电陶瓷致动器的电致失效的研究.pdfVIP

第18卷 材料科学与工程 增刊 V01．18 Materials ScienceEngineeringSep．2000 梯度功能铁电陶瓷致动器的电致失效研究 梁军1，石志飞2，杜善义1 (I哈尔滨工业大学，哈尔滨150001；2北京交通大学，北京100044) 【摘 失效力学机理，通过梯度参数的优化设计，有效地降低了材料开裂的能量释放率，使得多层共烧铁电致 动器的临界层厚度有明显的减小，满足微电子元件微型化发展需要。 【关键词】梯度功能铁电材料有效电弹性能 电致失效 1引 言 2张驰型铁电陶瓷材料 铁电陶瓷以其独特的机．电耦合性能，在工程 当温度，应力和电场强度达到适当的组合 中已得到广泛的应用，如声纳发生器、压电晶片 时，铁电材料可发生畴变。其电位移与电场之闯 执行器和多层烧铁电陶瓷致动器等，而热失配和 具有迟滞回线，应变与电场之间出现蝴蝶状曲线 电致失效是压电、铁电陶瓷元件的两种主要破坏 关系，铁电畴变的本构关系非常复杂．面对一类 形式。 称之为张驰材料的铁电陶瓷，可得到简化的本构 陶瓷材料的压电效应来源于材料本身的铁电 模型，张驰材料不存在电场与电位移场之间的迟 性，具有钙钛矿结构的铁电材料，如铅镁铌铁电 滞回线效应，图l给出了电致应变律的简化模 型。图中点线表示真实的非线性关系，虚线表示 材料Pb(Mgl，3Nb2n)03(PM)，由于可在较小的电 信号下引起较大的致动，从而弥补了常规线性压 二次电致应变律，实线表示阶跃式电致应变律。 电材料在逆压电功能方面的不足，常被作为铁电 陶瓷致动器的首选材料。然而，研究发现多层共 烧PMN铁电致动器存在着可靠性问题，而铁电 材料的可靠性与其电致失效力学行为紧密相关。 其失效的起因在于单调或交变的电场荷载，失效 的机理在于应力引起的破坏，电致失效力学包含 了电致断裂、电致疲劳、电致迁移与迁移损伤等 一系列新的研究课题【1,21。本文将主要研究介电 常数e呈梯度变化时张弛型铁电材料的电致断裂 失效形式，畴变区域的应力场分布，并优化材料 的设计。 图1 电致应变律的简化模型 ·743· 若材料为各向同性，则电场Ei与电位移场 D／e，其中e介电常数，当电场很强时(E—Ec)， Di，同向，其模E与D的关系为： 电位移将出现饱和D=Ds。 E=f(D) (1) 对铅镁锯铁电材料(PMN)，其典型材料数据 当电场很弱时(E—O)，两者近似为线性关系E= 如表1所示。 表l铁电张驰材料的典型数据 材料 G／eo Y(Gpa) y Q(mqc2)19 K盯(MPa～lm) O．9PMN 7500 112 O．26 0．025 O．38 ≈0．9 0．1盯 式中的三项分别为弹性能、耦合能和电场能。由Gibbs电弹自由能的势结构可得下述变场与电场表达式 驴一鲁2半h一南u小Q(1瑚)DIDj-印A吒 E=砉=_2Q《1+t9hq一鼢。Df】+厂(D)告 ‘3) 在方程(3)中第一式中所表达的应变场的力电