计算机硬盘系统的表面纳米级抛光的研究.pdfVIP

计算机硬盘系统的表面纳米级抛光研究 雒建斌 潘国顺 雷 红 高 峰 王亮亮 (清华大学摩擦学国家重点实验室 北京 100084) 姜小平 (国家科技部国际合作司 北京 100038) 摘要 硬盘以其种种优势在科学领域和生活上得到越来越广泛的应用 同时也不断地促进了相关领 域科学技术的迅速发展 从摩擦学角度讨论了与硬盘系统相关的基于磁头/盘表面与界面的微/纳米 设计和加工的技术与理论的研究进展 并讨论磁头飞行特性与表面形状设计 非均质多组元表面纳 米级抛光技术 表面化学 机械抛光技术等的研究发展状况和目前仍然存在的问题 关键词 硬盘 磁头 纳米级抛光 CMP 1 概论 1.1电子制造是关系国家利益和安全的基础性和战略性产业 在当今信息时代 社会和经济发展对信息资源 信息技术和信息产业的依赖程度越来越大 信息化程度已成为衡量一个国家现代化水平的重要标志 而信息化程度与先进电子制造业的代 表产品 计算机的普及与发展密切相关 先进电子制造业已经是集国家利益 人类智慧和最 新科技于一体的基础性和战略性产业 也是当今世界竞争最激烈 发展