铜铅合金的扫描开尔文探针显微镜的研究.pdfVIP

第25卷第4期 电 子显微学报 Vol-25．No．4 2006年8月 ofChineseElectron 2006．08 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000．6281(2006)04．0348．05 铜铅合金的扫描开尔文探针显微镜研究 周 强1，谢 中，王祝盈2，陈小林2，王岩国2 摘要：本文用扫描开尔文探针显微镜(SKPM)在具有相分离结构的磁控溅射铜铅合金样品上进行测量分析，得到 了合金薄膜的表面形貌和与微观组份分布相关的表面电势差信息。运用SKPM技术分析了铜晶粒对合金中粒子生 长的影响。该分析方法无需复杂的样品制备过程，不会破坏样品，对于宏观上具有确定组分的微观相分离样品，可 以由表面电势差像得到不同相的微区分布。比其它常规的分析手段有更高的分辨率、能获得更多的材料微区结 构、组份与性能间关系的信息。 关键词：磁控溅射；开尔文探针显微镜；表面电势差；铜铅合金薄膜 中图分类号：