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高功率太赫兹量子级联激光器研究 刘峰奇 刘俊岐 陈剑燕 王涛 王利军 梁平 胡颖 王占国 中国科学院半导体研究所，半导体材料科学重点实验室 摘要：量子级联激光器(QuantumCascadeLaser，简称QCL)是一种利用半导体耦合量子阱子带间电 子跃迁而产生激光的单极性半导体激光器，其工作波长可从中红外到太赫兹波段大范围调节。该报告 以中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室在太赫兹QCL(简称THz-QCL)方面的研究进 展作为实例，简要介绍QCL相关的物理过程、设计思路、材料生长所涉及的关键因素、器件研制和测 试表征。中科院半导体所在2006年设计、研制出太赫兹QCLs功能材料 （外延样品号G355、G374、G394 等）。在解决了器件工艺、测试表征方面的部分问题后，研制出工作频率覆盖2.95-3.2THz的一系列 THz-QCLs。目前，研制的THz-QCL在10K下的输出功率超过123mW、处于国际顶级行列。