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高模薄膜体声波谐振器(HBAR)地研究.pdfVIP

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  • 2017-08-16 发布于安徽
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高模薄膜体声波谐振器(HBAR)地研究.pdf

    第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE SENSORSAND 2006年10月 JOURNALOF ACTUATORS 0ct．2006 of ofAINThinFilmsforFBAR RF Studypreparation Applicationby DONG De-miao Shu—rong+，WANG 310027，China) (DepartmentofISEE，ZhejiangUniversity，Hangzhou Abstract：thinfilmsacousticbulkwaveresonatorworkat

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