高支化碱溶性感光聚合物的光成像的研究.pdfVIP

高支化碱溶性感光聚合物的光成像研究+ 冯宗财，王跃川“陈毅敏 四川人学高分子材料科学与L程系 四JII大学高分子材料【：程国家重点实验室，成都，610065 陈波 杜春蕾 中国科学院光电技术研究所微细加r光学技术国家重点实验室，成都，610209 光致抗蚀剂是微机械、微光学以及图形制作加工的关键材料。微光电机械系统(Micro Optical Mechanics Electronic 剂，因为负型抗蚀剂适合深度刻蚀．高支化聚合物是近年来发展起来的一种新型功能材料，具有低 粘度的特点．适合作为反应性树脂，特圳是作为光周化的低粘度树脂。我们台成了二类高支化碱溶7 性聚酯树脂：高支化碱溶性丙烯酸化聚酯．RSl：含光敏结构的高支化碱溶性丙烯酸化聚酯，RS2； 环氧树脂改性高支化碱溶性丙烯酸化聚酯，Rs3。对树脂的碱溶性、感光性和光成像性进行了研究。 研究结聚表明，高支化树脂作为光致抗蚀剂材料具有优异的