电容传感器温%2f湿度自补偿技术地研究.pdfVIP

．—— 皇查竺整墨墨!垩些!!!堡苎查竺竺壅 电容传感器温／湿度自补偿技术的研究 郑志敏，丁天怀，王坤明，杨帆 糖密仪器系．清华大学．中国jE京lO∞84．联系电话：0]0 e-madl：zzm01@mails．tsinghua．eAu．cn 【摘要】通过对传统平行板式电容传感器对环境温，湿度敏感原因的分析，研制了一种具有特殊 结构的电容传感器，采用有效的转换电路实现电容传感器的温，湿度自补偿功能。该传感器应 用于非金属薄膜厚度测量，进行了标准纸张厚度测量实验，结果表明，该传感器能对环境温， 湿度变化引起的零位漂移进行有效的补偿，并且具有测量线性、结构简单、制造成本低，工作 稳定可靠等特点。 [关键词】电容传感器温度自补偿 引言 电容传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应快、可进行非接触测量等突出的优点，因 此得到了广泛的应用Ⅲ。但是，由于电容传感器是结构型传感器，其结构的几何尺寸和极板间 介质的介电常数会因环境温，湿度的变化而变化，从而使传感器产生温，湿度的漂移误差“1，包 括零位漂移和灵敏度漂移。 电容传感器的温度补偿方法有：一是选用热膨胀系数小且相同的材料制作电容极板和平行 板连接件，使传感器的制作成本提高o】；二是增加温度检测系统，以其输出值进行温度补偿， 此方法适用于大多数传感器的温度补偿ml，提高了传感器的复杂程度，而且调试不方便砸】； 三是采取差动形式的电容传感器结构【”，使传感器调试方便，且不提高传感器的制作成本。 借鉴第三种温度补偿方法，实验研究了双平行板结构用于电容传感器温，湿度零位漂移自 补偿的技术。 1．工作原理 1．1传感器结构与测量原理 如图1所示，电容传感器是由三个相互平行的电极基板构成的双平行板结构，电极为圆 形。当三个电极基板相对固定连接时，该传感器可用于非金属薄膜的厚度检测。 图一电容传感器结构示意图 假设：两个电容的电极极板间距均为d，极板有效面积为S，非金属被测物的厚度为h， 空气的相对介电常数为Crl，被测物的相对介电常数为钿，则传感器中的两个电容co和c1分别 8／4 苎全生全曼苎壁垄堡皇笪壁墨兰查全坚堡圭壅 为： cn：兰掣 (1) c，=面,E碱rIG280S (2) 由(1)和(2)式可见，c0的电容值只随环境温，湿度变化而变化，与被测量的变化无关，是温，湿度 补偿电容；而cI的电容值变化则反映环境温／湿度变化和非金属被测物的厚度，是测量电容。 电极基板2上的电容电极均设计有等位环，用以消除电容传感器约边缘效应，是与工作电极同 心的圆环形电极。 1．2转换电路原理 传感嚣转换电路采用运算调幅式电路，原理如图2所示。测量电容cI作为放大器的反馈 电容，温，湿度补偿电容co作为放大器的比较电容， G 则电路的输出为 啥一导姒 (3) 由式(1)和式(2)可计算出 ㈣ ·CQo 1甜1(一甜一 则： 哪等(t一斟n ④ 耻调幅运算式电路原理 上式表明，电路输出Uo由不变量一职和变化量卑}1-垒}．h两部分组成。 d sr2