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第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 5) ONR -5) 年 月 $3+SK,K P%TUS=A %1 A%2 VK4@KU=VTUK @3,+$, ， 5((! ’( %E - 5((! ###################################################### ! 英寸双面#$% 高温超导外延薄膜研究 陈家俊 陶伯万 邓新武 刘兴钊 李德红 张 鹰 何世明 李言荣 羊 恺 张其劭 电子科技大学，成都 ’(()* 本文采用倒筒直流溅射方法（ ）结合基片变速双轴旋转方式原位生长 英寸双面