一种实现不同照明方式的光刻机照明系统地研究.pdfVIP

2003年L0月 第十二届全国电子束、离子束、光子柬学术会 北京 一种实现不同照明方式的光刻机照明 系统的研究 郑国兴杜春雷冯伯儒 (中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，四川成都610209) 摘要：针对不同图形周期、占空比、方向的微电子器件，采用不同的照明方式能够使光刻机的分 辨率和焦深达到最优。本文分析了一种新颖的、能够实现不同照明方式自由调制和切换的193am 准分子光刻机照明系统的原理，并对其组成部分进行了介绍。 关键词：光刻机：照明系统；衍射光学元件 1引言 光刻机是微电子制造业的重要设备。随着最近几十年来计算机、网络、移动通讯、多媒体传 播等技术的飞速发展，人们越来越希望微电子器件功能消耗低、集成度高、运算速度快。减小微 电子器件图形特征线条宽度是解决上述问题的一个重要方面，从而，如何提高光刻机图形分辨率 是微电子设备制造商和研究者一直在努力的方向。 最近几年来，有研究表明“：不同的照明方式，比如在圆形、环形、二极、四极光源像照明 下，光刻机的分辨率和焦深各不相同；而这些不同的光源像的位置、大小、形状同样会影响到光