电化学交流阻抗法的研究n-型硅片表面铜沉积行为.pdfVIP

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  • 2017-08-15 发布于安徽
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电化学交流阻抗法的研究n-型硅片表面铜沉积行为.pdf

生产聚合物的工艺条件; (4)确定聚合物生产工艺与降解性能的相关性; (5)低成本、高产品质量的非有机溶剂清洁提取技术; (6)聚合物的修饰和共混加工技术。 参考文献 1堵国成,陈坚,商海军,等应用与环境生物学报,1996.2(3):308—314 的电化学反应速度及分析交流阻抗结果,探讨了n.型硅表面铜的沉积机理。 1实验部分 1.1材料和试剂 实验用硅片为n(100),电阻率为2~4Q·cm,由美国Texas 000 Chemicals公司购得。 ppm)贝lJ从美国Signm 1.2电化学交流阻抗实验 cm×1.5 极平槽改装(聚丙烯材料做成,容积大约为170m1)。工作电极为n(100)硅片(1.5cm),在电解槽中 rq}厂、、 }厂飞j . 。 .

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