塑料衬底非晶硅太阳电池地研究.pdfVIP

塑料衬底非晶硅太阳电池的研究 李洪波耿新华周祯华陆靖谷孙建张丽珠· (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津，300071 +天津机电工业学校) 摘 要：塑料衬底非晶硅太阳电池具有质簧轻厚度薄、功率重量比高和可弯曲性好的优点，具有广 阔的应用前景。本文首先介绍了国外对塑料衬底非品硅太阳电池的研究情况，然后针对塑料衬底a— si电池涉及到的特殊Ji艺技术进行了初步研究，并对实验结果进行了讨论。 关键词：非晶硅太阳电池、塑料衬底、倒PIN结构、④薄膜、氢等离子体处理 。每l言 ’氮蕊 由于非晶硅基台金材料的沉积技术具有广泛的衬底适应性，田此早在1F晶砖太阳电池技术的形成 初期人们就探索过在塑料薄膜衬底上制造非品硅电池，以期获得高的功率重量比和广泛的形状适应性。 早在1982年，曰本TeiJin公司Okaniwa等人就发表了面积Icm 2初始效率7．4％的以PET(聚对苯 二甲酸乙二酯)为衬底的非品硅太刚电池[1]。在1987年的第三届国