电容式压力传感器的厚膜集成化的研究.pdfVIP

第12卷第2．3期 混合微电子技术 v01．12№23 电容式压力传感器的厚膜集成化研究 一…… 传感技术国家重点实验室毒髻警．譬盏嚣警絮警萎马以武虞默 摘要本文采用厚膜传感技术研制电容式感压元件，并通过厚膜混合集成技术和工艺交叉将 信号处理电路集成在感压元件上成为一体，进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表 明：研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器，线性达到0．5％，迟滞小于O．5％，重复性好。具有 受分布电容、寄生电容影响小，抗干扰能力强．精度高，抗过载．耐腐蚀等特点。 关键词压力传感器电容式厚膜集成化 本文主要介绍厚膜感压元件的设计、信 1引官 号处理电路的平面化加工、以及集成化等三 传感器的集成化研究是目前传感技术的 方面工作．并对相关工艺及性能进行了