电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展.pdfVIP

第 35 卷 第 4 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.35 No.4 2006 年 8 月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Aug. 2006 ·物理电子学· 电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展 杨中海，金晓林 ( 电子科技大学物理电子学院 成都 610054) 【摘要】电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR 放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型：粒子模型、流体模型、混合模型。该文对上述3种模 型进行了综述、总结和对比，并对今后的研究前景进行了展望。特别指出模拟ECR放电电离过程的研究意义以及粒子模型中 的粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)方法在模拟EC