非晶硅TFT室温红外探测器的光学特性研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 .’ ’ .%%8 非晶硅!!室温红外探测器的光学特性研究 张万杰 董 良 岳瑞峰 刘理天 清华大学微电子学研究所 北京 # $%%%’( 摘要 针对非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的实际结构 提出了两种计算红外吸收率的数学模型 并结合光学导纳矩阵法研 ) ) 究了它的光学特性 对钝化层的结构和材料进行了优化设计 并用在了实际阵列的制作中 * )