纳米晶LaFeO-%2c3-薄膜的制备与不同气氛处理后的XPS研究.pdfVIP

20∞年10月·广西·北海 第七届全国同体薄膜学术会域 纳米晶LaFeO。薄膜的制备及不同气氛处理。 后的XPS研究 徐宝琨吴家琨索辉赵毅 吉林大学电子工程系，长春130023 韵1肾一 圣Pk纳米材料是九十年代发展起来的一种新兴材料，由于其粒度小、比表面积大、反应活 性强等原因，引起气敏工作者的广泛兴趣。研究发现，纳米晶LaFeO，薄膜，对分属于还原 性气体和氧化性气体的乙醇和N。：具有很好的敏感性【14】。但制成的元件均存在响应恢复时 间长的弱点，即使在一定的真空条件下也不能马上恢复“I。这对于元件的实用化是一个难 题，但对探讨LaFeO，材料的敏感机理来说却是一个难得的良机．因为气体在LaFeO，材料 上吸附后难以恢复．可以定性地在吸附前后进行各种近似原位的测试。I因此，我们对 LaFe03薄膜吸附乙醇和N02气体前后分别进行了XPS研究。卜 实验 薄膜制备： HN03溶解：Fe(NO，)，‘9H：0用去离子水溶解并加入一定量的柠檬馥。充分络合后加入 La cN03)，溶液