基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器地研究.pdfVIP

第9卷 第6期 光学 精密工程 v。1 9．N。6 2001年12月 OPTICSAND De…2001 PRECISION ENGINEERING 文章编号1004．924X(2001)06．0514．05 基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究 孙立宁，荣伟彬，曲东升，高振国，楼朝飞，蔡鹤皋 (哈尔滨工业大学机器人研究所，黑龙江哈尔滨 150001) 摘要：根据仿生学原理，采用分立式布局，研制出太行程高分辨率旋转徽驱动器。该微驱动器采用电磁 铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式，实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明，该徽驱 动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点，也适用于其它授操作中太行程高分辨率的旋转驱动。 美键词：微操作；微驱动；侍生型旋转微驵动嚣；电磁轶藉位；压电陶瓷(PzT) 中围分类号：TP242文献标识码：A 图1是作者所研制的用于光学镜面微调整的 1 引 言 二维旋转微驱动器的工作原理。它是根据自然界 爬虫类的爬行方法提出的。其中A、c为箝位装 随着微／纳米技术的迅猛发展，在微小机械零 置，B为驱动机构，D为固定镜面．E为活动镜面， 件装配、MEMS组装、细胞操作、精密光学等高技F为转轴。初始状态时驱动机构B处于恢复状 术领域中，迫切需要具有纳米级微动定位能力的 态，箝位装置A松位，箝位装置C箝位。若要实 微操作机器人系统…。作为微操作的核心技术， 现顺时针方向转动，则按如下步骤进行：1)箝位装 微／纳米级微驱动技术在相关领域的需求下，成为 置A由松位变为箝位；2)箝位装置C由箝位变为 人们关注的研究热点。在自适应光学系统的研究 松位；3)驱动机构B伸长；4)箝位装置C由松位 中，经常需要通过微驱动装置动态改变光束经过 变为箝位；5)箝位装置A由箝位变为橙位；6)驱 的路径参数来获得高质量的光束。高速倾斜镜就 动机构B恢复原长。这样完成了一个动作循环， 是一类常用的驱动装置，它是一种典型的大行程 机构沿顺时针方向转动了一步。重复上述步骤， 高分辨率微驱动机构。高速倾斜镜的性能优劣很 则微驱动器继续沿顺时针方向旋转。同理可以实 大程度上决定了整个自适应光学系统的性能指 现机构的逆时针旋转。 标。因而，其关键是研制太行程高分辨率的微动 机构。 行程和分辨率是微动技术中的一对矛盾，在 保证高分辨率的条件下尽可能增大行程一直是微 驱动技术的努力方向。许多研究人员在此方向上 进行了深人的研究和探讨，提出了多种形式的太 行程高分辨率微驱动器[2。3．6。7j，其中仿生型微驱 bl onemotion FiaishOIg cycle 动技术[4-s]是这个领域的一项新型技术。 Working ofthe micro．actuator Fig．1 principlerotary 2仿生型旋转微驱动器原理及组成 2．1仿生型旋转微驱动器的原理 收稿日期：2001．08—20；幡订日期：2001—09．06 基金