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ITS9000MX
VLSI测试系统计量检定研究
洗纛祖石坚
中国船舶工业总公司擞电子产品检调中心430町4
摘要本文是兀S9000Mx
VLsI测试系统的计量捡定研究报告,描速了ns9∞瞳.】【计量捡定的基奉思想、原理和关犍技术。
关键词计量、检定、校准、测试系统、v瑚。
一概论
和任何电子测量仪器一样,对、恤测试系统的计量检定,也离不开对三种基本量的检定,它们是:电压、电流和时钟频率。
所不同的是,对V城测试系统,对这三个基本量的潮试要集中在一个系统中进行。其次,要翔剐《计量检定)由这三种基本量的
形成的种种组合或复合是否都满足规定的精度,也不是一件容易的事。本文较系统地介绍了对皿汩D0哺ⅨvIsI测试系统的计
量检定,确保所有的测试操作都在scblurnb哪盯所规定的精度范围以内的研究过程和基本结果。
二原理和方法
l原理
条件、原理和方法。首先,我们把rIs900帅【执行部件中用户可用的各种量,如系统电京D巧l/2/3……,各个通道的驱动电流/
电压、感应电流/电压等等记为系统量‰,m=l、2、3……,代表系统量存在的个数(种类)。通常,爿断这些系统量是否满足系统
出厂时的精度要求,就是我们计量检定的最终目的。进而.我们对这些需要检定的系统量进行逻辑分析,发现在ns9000Mx内部
确宴存在许多中问量需要、也可以进行测量。这些中问量分层欢地存在,并佳以种种复合/组合的形式构成系统量,所以它是保
(个数)。继续对中问量溯源,最后找到了系统的三种基本量~电压、电蠹和时钟糍率。我们把它记为Gi,这个i-l、2、3……,它
也代表基本量的个数。至此,我们已经列举了系统需要进行计量检定的全部量:基本量、中间量和系统量。因此不难写出
rIs900帅【VLsI测试系统计量检定量值传递的树图,即:
ci一铆r+Sm
其中.i,j,k,m古义同前。一代表量值传递。显然,用这样的树田插述符合计量原理。换言之,如果我们确认了Gi的正确性。就可
以利用Gi确认Zjk的正确与否;在确认了巧k的正确性后,便可利用ci和雄的正确性赡认sm的正确性。所以,对兀s90蝴
的计量检定,归根结底是对a的测量和检定。这便是我们对啊泓砌眦计量检定进行研究所得出的基本结论。
2.方法
对Ⅱ鄂00呻Ⅸ进行计量检定的方法,我们把它分为二步:第一步,使用外接标准仪嚣的直接测量法。对影响系统的性能指标
的基本量Gi进行测量。从而确认系统的基准是否满足精度要求。对不满足精度要求的基准进行人工辅助校准。第二步,在保证
系统基准正确的前提下,采用自动检测技术,进一步验证系统所有的测试部件(系统量)是否都请足精度要求。对不在精度范围
以内的,进行自动校准。最后根据系统的棱、诊结果,得出合格或者不合格的结论。保证Ⅱs如0嚆Ⅸv呵测试系统与其设计指标
一致。
三系统分块殛基本■
在对于Ⅱs9000MD【vlsI测试系统计量检定的原理和方法确定以后,关键技术在于研究如何捌分用于计量检定的逻辑分块
(部件)。这种捌分即要合理,叉要科学,有利于计量检定测试的实理。其次,是根据这些逻辑划分,进一步研究确定用于系统计
量检定的基本量、与基本量相关的测量点,以及实现对每个基本量测量点的测量方法。
1.逻辑划分
内容和模块进行全面的划分。根据scM啪蜥的硬件手册和我们的研究结果,需要进行计量检定的有如下模块:
·定时于系统:它包含sPP结构。
·DC子系统:包括舢、nPs、和参考电源。
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-测试头子系统:包括PEt=afd。
2.基本量
试和/或校正。
·Dcc—u板的精密电阻和精密参考电压源
精密电阻:R2l、R22、R33、R42、R43、R∞、R4l以及RM2
(12K)、RM2(1饼£)、RM2(6.8K)、RM2(3.2K)
精密参考电压源:粥8、1荆4、TP20、哪2
·T删板的测试主时钟
测试主时钟:1甲6
·cdⅡ∞板的脉冲上升、下降沿
cdh耽板的上升、下降沿的△T值。
对以上这些基本量必须在相应检测点利用外接标准仪器的方法,手工进行潮试和校准。这是对系统进行全面计量检定的
关键和基础。
四计量检定的实现
1.标准仪器
对rIs900帅【进行计量检定,
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