差动共焦式光探针轮廓扫描测量原理探究.pdfVIP

差动共焦式光探针轮廓扫描测量原理研究 谭久彬1，王富生2，赵堆谦3 (堆尔蒺工韭大学自动化测试与控制系．略尔靛150001) ■叠本文提出丁一种差动共■式光辩}轮■扫描技术愿曩．谊—轮廓扫描技术^ 青姒向分辨力高·信号穗定性好和可宴现车连接靶■盼苑对式扫抽捌量肆特点．宴鞋表 明．谖技术对光一囊声和■暮有较好的抑翻作用：飘冉分辨力可达l一2蚺米． 1 引言 由于共焦光探甘轮■扫描测量技术．；l入了具有空问滤波功能的共焦甘孔．有仅使光学千 丝万蓑文^盘鲁了独特的轴向响应特性，而且同时^有抗杂救光能力强和光强对比度大的忧点 …．这形馥了共熏式光撵竹轮廓扫描嗣量技术的蔓着特色，引趋众多专寡学者的警追关注． 在进—步研究中，人们发现t谈技术仍存在明显不足，知光蠢曩声和蠢移对测量信号有I接髟 响；当蕞用糖入特性斜率较大的工作段时，尽蕾分辨力较高．但不能对车连续轮枣进行扫插铡 I· j／ 车文基举共焦光路和一般差动光路的思想““．提出差动共焦熏理轮廓扫描捌量技术．其 基本善llS是通过焦前和焦后两路接收信号形成相移．二路信号的差动输出开成—特定辩事的抽 入辅出特性．使用该特性可解决两个闩爱：第一，两路接收量黼一十光蠢．两路信号的差动 结果舍抵藕光源曝声和棵移的影响；第二．差动后的特性曲线例c的辩率和绝对零位．这样 使可解丧高分辨力和非连续抟描舅量问曩． 鹿＼ 2 差动共焦原理 差动共焦光路的蒙理如图l所示． 舒方菇轭面 捌l差动其饿l曩理 ·59· 从光源到翻方共轭面。再到像方空闻滤波地孔1前共轭面，形成基本共焦光路(第一共 焦光路)；在此基础上，经分光镜2到像方空问滤波针孔2后的共轭面．形成第二共焦光路． 在两个同源若焦光路上分别放置针孔滤波器，一个放在第一若焦光路的后共轭面，一个放在 z(u)在 第二共焦光路的前共轭面上．两接收器接收到的光强信号对应的特性曲线I-(u)、I z向产生一位相差，如图2所示． }；l{；；；。；t；0；，；i o《扫石c皇暑一≈嚣11日E占z ．10．8．6．‘-20 2 4 e B 10 Nmmali∞ddefocus_ 幽2差动特性曲线 I．(u)、I，(u)的线性选加曲线【I．(u)-It(u)】具有重要特性： (1)^有共模抻制作用．1-(u)、I。(u)中包含的光潭噪声和光强漂移、频率变化等 潭于同一t光嚣而^有相同的特征和变化．二路信号的实时差动会使共模干扰信号得到有效 抻翻： (2)选加韭线具有根大的辫率和报好的线性范固．适当调整=针孔滤波器的轴向位置。 可相应地政变二路信号I．(u)、It(u)的位相差，进而改变差动信号的斜率； (3)具有绝对零位．可通过对二路信号I，(u)、It(u)的幅度进行监测可爱效地判断 绝对零位． 选用上述三信特性可咀解决光探竹轮奔扫描技术的几个技术障碍： (1)显著改变信号质量．信嗓比明显提高；