高支化碱溶性感光聚合物光成像研究.pdfVIP

高支化碱溶性感光聚合物的光成像研究+ 冯宗财，王跃川”陈毅敏1 四川I凡学高分子材料科学与L程系 四川大学高分子材料I：程国家重点实验室，成都，610065 陈波 杜春蕾 中国科学院光电技术研究所微细加J：光学技术国家重点实验室，成都，610209 ，，夤释： 光致抗蚀荆是微机械、微光学以及|苎l形制怍加L的关键材料。微光电机械系统(Micro Opticat ElectronicMechanics i． 削，因为负型抗蚀剂适合深度刻蚀。f高支化聚合物楚近年来发展起来的一种新犁功能材料．具有低 轱度的特点．适合作为反应性树脂、特制是作为光蚓化的低粘度树脂。我们合成了二类高支化碱溶 性聚酯树脂o)高支化碱溶性丙烯酸化聚酯，Rsl；含光敏结构的高支化碱溶性丙烯酸化聚酯，RS2； 环氧树脂改性高支化碱溶性丙烯酸化聚酯．RS3。