激光薄膜厚度在线自动测控装置地研究.pdfVIP

激光薄膜厚度在线自动测控装置的研究 粱东明杜新华李玉奎 (天津市控溯技术研究所夭津市河北区元纬路l叮号300141) 摘要：本文介绍以激光技术、光电技术和微机为核心的薄膜厚度在线测量控制装置的原理及系 统结构并分析影响测量精度的因素和解决方法，为薄膜生产线和感光材料行业提供先进的厚度测 控手段。 关键词： 激光光电接收装置扫描测量精度微机 1引言 目前，全国生产各种透明、半透明薄膜材科的厂家很多，他们拥有数百条拉膜生产线， 其产品包括绝缘膜、包装膜、感光胶片片基、磁记录产品片基等。太多数生产线对薄膜厚度 公差具有严格的要求，需要对薄膜厚度进行在线测量和控制。目前主要的检测手段是B射 线测厚装置，不仅价格昂贵，而且射线防护设施复杂。加之射线源有半衰期，更换操作及废 射线源的处理给用户带来很多麻烦。此外，B射线较为发散、难聚焦，只能测量区域的平 均厚度。我们经过多年的研究开发，研制成功了激光测厚装置。它采用先进的激光、光电和 微机技术，使测量精度达到并超过8射线测厚装置。该系统同时具有联网、自动反馈控制 等功能，有着很高的性能价格比。激光测厚还具