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二氧化锡气敏传感器的研究进展 焦 正 (上海大学，一卜海大学应用射线研究所， 卜海201800) 摘要 为了提高SnO。气敏传感器的气敏特性和选择性，常采用的方法包括掺杂金属(特别是贵金属，如Pt、 N、Ih等)、金属阳离子(如铜离子、铁离二于等)、氧化物或形成复合氧化物、多组分氧化物(![HCuO／A1。0。／ SnO。／8i0。等)。本文主要介绍了一种研究SnO。气敏传感器气敏特悻的新的方法。采用Ili予加速器辐射的方 法来改善SnO。传感器的气敏性能，研究在不同的辐射时问、剂量条件下，SnO。气敏传感器的灵敏度与气体浓 度、辐射时问、剂量的关系，并得出』’一些基本的规律。对改j堡5；nO。传感器灵敏度的方法做了进一步的探 索，并为今后的研究指1刃了方向。 关键词传感器；气敏；灵敏度；晶粒势垒；电子加速器：辄剩：剂j茬。 1引言 子(如钟4离子、。铁离二f等)、氧化物或形成复合氧化 气敏传感器主要工作原理是被检测气体与传 本文采川的【Il子辐射法可有效改善SnO。材料的气敏 感器表面发生反应(物理吸附或化学吸附)，引起表 性能，研究了在不同的辐射时间、剂量条件下，Sn02 面某种性质变化(电阻、电导、电压、阻抗等)，将 气敏传?誊器的灵敏度与气体浓度、辐射时间、剂量 这种变化转变为电信号，通过对电信号的分析，可 的关系，)f：得出了一些基本的规律。对改进SnO。传 以得到有关气体浓度、成分等信，息．。 感器的灵敏度做了进一步的探索，并为今后的研究 SnO。是目前应用最广泛的一种气敏材料， 指明了方向。且该法生产．I：艺简单，成本较低，可 SnO。属于立方晶系，具有金红N型半导体特征。它具批量￡盱，．。 有以下特性：at)SnO。材料物理、化学稳定性好，耐 腐蚀性强；b)对气体检测是可逆的，吸附、脱附时 2实验 间短，可连续长时间使用：c)可靠性较高，机械性 能良好：d)电阻随浓度变化一般呈抛物线变化趋 2．1样品、试剂与设备 势；e)费用较低；f)i肖省能耗；g)禁带宽度虽较宽， 但施主能级是适度浅能能，容易获得适宜的电特 样品采用烧结弛直热式SnO。气敏传感 性。因此以SnO：为主体材料制成的气体传感器，在 器；试剂采州无水乙醇(分析醇)。 金属氧化物半导体电阻式气体传感器中处于中心 主要设衙 电子加速器： 采用上海先锋电机厂 地位。且具有体积小、响应快、灵敏度高、成本低、 DP6 便于集成化和多功能化、易和微机接口等特点，被 速器：wY一2型直流稳压电源1 广泛疗、自动控制之中。尽管SnO。基传感器具有许 D／V型直流式数字电压表：抽滤瓶； 多优点，但Snoz作为材料也存在一定缺点。例如在 真空泵；温度计等。 选择性、寿命、可靠性等方面有待于进…‘步完善， 若可燃性气体浓度过火，工作温度过高，有火灾危 2．2实验过程 险等。 为了找到合适的方法改善SnOz传感器的气敏性 本：一C验的样品是从经过筛选试验的100只合 能，发挥其主要优势，克服不利因素，研究人员从 格产，+㈨㈤直机抽取的。受试样品的多少与可靠性特 多种方面作了许多：【：作…。常采用的方法包括掺杂 征量{占。¨『勺精确度和试验的经济性有关，综合考 金属(特另Ⅱ是贵金属，如Pt、N、Ih等)、金属阳离虑以哪』冲mj素，本实验取30个样品为一组进行 实验。实验时电子加速百il雌li-,¨,1刘=在1．75MeV，2nlA的条 对相同条件下的该组样，’晶的灵敏度取其平均