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2004-9-16 Sun Yihe, Institute of Microelectronics, Tsinghua University 集成电路测试技术讲座 清华大学微电子学研究所 sunyh@tsinghua.edu.cn 讲座提纲 集成电路测试技术概念和测试经济学 ATE自动测试系统简介 集成电路测试方法简况 VLSI 实现过程 测试与产品形成的关系 测试是过滤过程 实际测试- 缺陷覆盖率 集成电路测试技术现状和发展 测试的代价 可测性设计(Design for testability – DFT) 芯片面积额外开销和成品损失； 性能的开销损失； 软件测试处理 测试产生和故障模拟； 测试编程和调试； 制造测试 自动测试设备 (ATE) 首次投入成本； 测试中心的运行成本。 公元2000年测试成本代价 0.5-1.0GHz, 模拟仪器, 1,024 数字引脚: ATE 购买价格 = $1.2M + 1,024 x $3,000 = $4.272M 运行成本 (五年线性折旧-depreciation) = 折旧 + 维护 + 操作 = $0.854M + $0.085M + $0.5M = $1.439M/年 测试成本 (24 小时 ATE 操作) = $1.439M/(365 x 24 x 3,600) = 4.5 美分/秒 测试成本代价-折旧问题 ATE自动测试系统