紫外激光微烧结金属粉制造微型金属零件地研究.pdfVIP

中国机械工程第16卷增刊2005年7月 紫外激光微烧结金属粉制造微型金属零件的研究 陈继民 阳建华 张 帅 左铁钏 北京工业大学，北京，100022 摘要：利用高功率三倍频紫外激光选区烧结技术进行了激光微成形试验。通过大量的工艺试验和对激光选 区烧结微成形过程中影响因素的分析，探讨了激光选区烧结微成形工艺参数对激光扫描金属粉末的烧结线宽 和烧结深度的影响，并最终成形了三维微小的金属实体。 关键词：紫外激光选区烧结；微成形；工艺参数；金属粉末；微机械 中图分类号：TFl24 文章编号：1004—132X(2005)S1一0444一03 Researchon Selective to Metallic Micro PowderFabricate Sintering UltravioletLaser Micro--componentUsing ChenJimin ShuaiZuoTiechuan YangJianhuaZhang of BeijingUniversity Technology，Beijing，100022 Abstract：Thisdescribedfabricationof laser paper micro--componentsusing powertripledfrequency high through the ofselectivelaser theinfluencesof inSLSon process sintering(SLS)，discussedprocessingparameters sintering widthand somemicrometal depth，andfinallypresented components． Keywords：tripledlaserselective powder；mi— frequency sintering；micro--fabrication；processingparameter；metal cro—machjne 0 引言 撑体；在完成一层烧结后，工作台下降一个切片厚度，重新 微型机械是制造业的前沿领域，在医疗、航空航天、 铺粉、烧结；重复上述过程，直到烧结出整个零件n]。与通 生物工程、军事等领域发挥了重要作用，对国民经济和国 常的激光选区烧结不同的是，这种工艺要求小的光斑直径 防科学技术的发展有深远的影响。微型机械的实现依赖于 微细加工枝术。目前，应用于微型机械的制造技术大致分 描线宽很窄，从而达到制造微型金属零件的目的[5]。 为两类；一种是材料去除式加工，主要有半导体加工技术、 1试验材料及装备 LIGA工艺以及超精密机械加工和特种加工技术等；另一 laser 影响激光选区烧结的因素很多，如激光功率、扫描速 种是材料添加式加工，主要为激光选区烧结(seletive