毕业论文-年产8000吨多晶硅生产中三氯氢硅生产工艺的探讨.docVIP

高等职业院校（专科）毕业论文 年产8000吨多晶硅生产中三氯氢硅生产工艺的探讨 学 生：× × 指导老师： 重庆化工职业学院 2014年5月 致 谢 在校的这三年时间里很感谢老师们对我的淳淳教诲，是你们教会了我们勤奋学习，诚实做人，踏实做事，以宽容之心面对生活。指引着我们沿着正确方向前进。在点滴汇聚中使我逐渐形成正确、成熟的人生观、价值观。特别要感谢我的指导老师，杨铀老师给予我很大的帮助。 感谢我的家人，我永远的支持者，正是在你们殷切目光的注视下，我才一步步的完成了求学生涯。没有你们，就不会有今天的我！我一直很感谢你们，让我拥有一个如此温馨的家庭，让我所有的一切都可以在你们这里得到理解与支持，得到谅解和分担。你们的支持和鼓励是我前进的动力。 摘 要 多晶硅生产技术是利用二氧化硅和碳粉在熔融状态下进行的还原反应，以及在多晶硅生产技术中的各项工艺的探讨，包括三氯氢硅的合成、三氯氢硅氢还原制备高纯硅。 关键词：三氯氢硅 高纯硅 目录 1.引言 3 2.三氯氢硅的工艺简介 3 2.1 三氯氢硅合成的工艺条件 4 2.2 三氯氢硅的还原反应基本原理 8 3.三氯氢硅氢还原制备高纯硅 8 4.硅的应用 9 5.结论 10 参考文献 11 1.引言 20世纪50年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术，即通常所说的西门子工艺。 多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在表面温度 1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯含硅反应物，使反应生成的硅沉积在硅芯上。改良西门子方法是在传统西门子方法的基础上，具备先进的节能低耗工艺，可有效回收利用生产过程中大量的SiCl4 、HCl、H2等副产物以及大量副产热能的多晶硅生产工艺。 经过半个世纪的发展，多晶硅的制备从生产技术、规模、质量和成本都达到空前的水平，主要集中在美国、日本、德国三个国家。这三国几乎垄断了世界多晶硅市场。多晶硅生产的技术仍在进步发展，比如现在出现的硅棒对数达上百对的还原炉，可以使多晶硅的还原能耗降低到一个新的水平。 （还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%。 2.三氯氢硅的工艺简介 三氯氢硅是通过高纯氯化氢气体与冶金级单体硅(质量分数 98.0％～99.％)在一定温度、压力条件下反应制备的。反应方程式如下 ： Si+3HCl→SiHCl3+H2 (1) Si+4HCl→SiCl4+2H2 (2) Si+2HCl→SiH2Cl2 (3) 反应 (1)为主反应，反应(2)、(3)为副反应。反应(1)在动力学上属于零级反应，热力学上属于放热反应，反应热为 141.8 kJ／mol。升高反应温度虽可加快反应速度，但不利于主产物的生成。在优化温度和压力的条件下，可大大提高三氯氢硅的选择性。例如在温度为 300-425℃、压力为 2～5 kPa条件下，硅和氯化氢发生反应，产物以600～1000 kg／h的流速连续输出，三氯氢硅选择性高达80％～88％，副产物中约有 1．0％～2．0％的二氯二氢硅和l％～4％的缩聚物，其余为四氯氢硅。该合成反应中，温度、压力、硅粉粒度、氯化氢气体的流速、氯化氢中O2和 H2O含量都会对三氯氢硅的收率产生很大影响。 氯化氢与硅的催化反应机理可以用吸附原理来解释。即在多相催化反应中。反应过程可分为 5个阶段：(1)气体反应物扩散到催化剂表面 ；(2)反应物分子吸附于表面 ；(3)表面反应 ；(4)形成的分子从表面解吸 ；(5)产物扩散到气相反应过程中。在用单质铜做催化剂时，氯化氢被吸附在触体表面 ，并离解成氢离子和氯离子 ，2个被吸附的氢原子再结合成 1个分子而被解 吸，2个被吸附的氯原子与 1个硅原子结合生成 SiC1：型的表面化合物 ，它又与另一个氯化氢分子结合成三氯氢硅。 Si+2HCl→(SiCl2)+H2 (SiCl2)+HCl→SiHCl3 2.1 三氯氢硅合成的工艺条件 (1)反应温度 SiHCl3被氢气还原以及热分解的反应是吸热反应。所以，从理论上来说，反应的温度愈高则愈有利于反应的进行。例如，以一定的氢气配比，在1240℃时还原SiHCl3，沉积硅的收率较1000℃ 时沉积硅的收率高大约20% 。此外，反应温