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基于孪生靶技术的新型建筑膜系产品 New r coati GI assbasedorlTwi ri technoI Laye ng n-Magsputteng ogy 周永文 格兰特工程玻璃(中山)有限公司 中山市 528437 摘要孪生靶技术应用于低辐射镀膜玻璃的生产，其投资少，生产工艺连续稳定，产品性能优。镀膜颜色的均 匀性可达△E≤1．5CIELAB，优于直流阴极和旋转阴极所生产的产品。 AbstraotLow—E LOW—E be coatingglassUsingTwin-Magsputteringtechnology，couldcoatingglass and datesareexcellent．The are producedcontinouslystablY，Theperformance productionuniformity betterthanwhich DC androtatable usingsputtering sputtering． 关键词孪生靶、低辐射镀膜玻璃、均匀性 words key Twin—Mag、LOW—Ecoatingglass、uniformity 1 引言 镀膜玻璃技术日新月异，镀膜产品也从单一的阳光控制膜发展到低辐射镀膜，具有热反射功能的低辐射镀 膜，双银低辐射镀膜等。各资金实力雄厚的企业投巨资引进图外先进技术和大型生产线，年产300’500万平方 米不等的低辐射镀膜玻璃。由于市场容量自．限，而产能明显过剩。因此，各企业纷纷刹价以低价切入市场，力 求在短期内分得一杯羹。 本文志在介绍一种孪生靶技术的应用，能满足目前市场上几乎所有热反射镀膜玻璃、低辐射玻璃和具有热 反射功能的低辐射玻璃的生产。而又不需要作巨人投入，能快速适应市场需求，资金回报高，风险少。 2镀膜玻璃对膜材的要求 各种镀膜产晶对膜层的要求，不外乎是金属、金属氧化物和金属氮化物快速、稳定的沉积，且可重复生产 性好、均匀性好。而镀膜玻璃产品主要表现为光学性能、热学性能、机械性能和耐化学性能。各种性能的要求 如下： 2．1光学性能： ·透过色为中性色，反射色能满足美学要求 ·易调校颜色 ·高可见光透过，例如对单银L0w—E产品可见光透过≥80％ ·从里向外看时候，不会有颜色失真状况(对Low—E) ·反射色可选范围广(对阳光膜玻璃) 2．2热学性能： ·非常低的U(k)值 ·非常低的辐射率，例如E≤0，05 ·可调整g值(太阳能获得)，即对住宅来讲，需较高的g值，而对商用，办公室等需较低g值 ·对太阳选择性要好，即在寒冷地区，尽可能得到多的太阳能，丽在热带地区，尽可能避免太阳能(选择 性=可见光透过／太阳热扶得量) 306 2005’中国加工玻璃年会置首届研讨会 k蕊遗貊I业交流平台 2．3机械性能 ·较好的防划伤能力，以适应后续的运输，加工要求 ·满足适应钢化和热弯的能力 2．4、化学特性 膜层必须能抵抗后续的处理，清洗，储存，加工，使用等一系列的影响。 3孪生靶及其技术： 众所周知，直流阴极溅射的主要缺陷在于作反应溅射时，时常会有电弧产生，这样就引起了溅射工艺的不 稳定和废次品的产生。而孪生靶及及技术的应用的目的就在于克服上述缺陷，使工艺稳定和连续。 孪生靶包括了如下的配件： ·二个阴极 ·中频电源(40KHz正弦波) ·电子过滤滤波装置 ·反应气体分压的控制系统 ·合适的阴极周围挡板配置 当孪生靶的一个阴极溅射时，它的另一个阴极作为阳极。溅射阴极产生的二次电子加速撞击阳极，中和堆 积在表面的离子绝缘层。从而不使绝缘层越积越厚，避免