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利用光栅的飞秒激光测量装置 戴恩文周常河 (中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室。上海201800) 摘要：提出了一种利用反射武达曼光栅的飞秒超短脉冲测量装置。装置主要由三块反射式达曼光栅构成。达曼光栅的反射膜层 采用高反射率、宽光谱的金膜层，容易加工。由于采用的是反射式结构，从而消除了基底介质对飞秒脉冲的展宽。达曼光栅的 制造技术与微电子加工技术相兼容，具有易加工、成本低的优点。另外该装置的核心只有三块达曼光栅，很容易实现脉冲的等 光程，具有结构紧凑、成本低、光路调节方便的优点。 关键词：达曼光栅；飞秒激光，超短脉冲测量 1引言 让开关脉冲在时域上通过探测脉冲的不同部分(即所谓的光 自20世纪90年代以来，飞秒(fs10“5秒)脉冲激光技术学开关)，产生信号光，用光谱仪(1ip所谓的频率分辨)接收信 得到了迅速发展，由于飞秒光脉冲具有时域超短、峰值功率 号光，得到二维的频率一时间图谱，即所谓的FROGtrace。由 高、光谱范围宽的特点，使其能够广泛地应用于物理、化 FROG图谱利用优化算法可以重构出脉冲的复振幅。与自相关 学、生物、医学、微加工等领域。例如，1999年诺贝尔化学法相比频率分辨光学开关法采用的是二维重构算法，因而能 够得到脉冲的振幅和相位。频率分辨光学开关法具有光学结 奖得主泽维尔(AhmedH．Zewail)教授利用飞秒超短脉冲在分子 水平上观察化学反应中细节特征，将人类对化学反应本质的 构简单的优点但是重构算法比较复杂耗时。 认识提高到一个新的高度，具有划时代的意义。另外，与传 由于飞秒脉冲具有很宽的频谱和很强的峰值功率，当其 统的加工用的激光器相比，利用飞秒超短脉冲进行微加工可 通过介质时由于色散，吸收和非线性等效应，会产生脉冲展 以大大减小热效应带来的不利因素，因而能够得到非常高的 宽、变形等现象，这会给测量结果造成较大的误差。因此在 加工精度。 飞秒脉冲测量装置中应尽量避免脉冲光通过介质而应该采用 飞秒超短脉冲下的各种现象的研究是通过飞秒脉冲测量 反射器件。目前大部分频率分辨光学开关法测量装置基本结 技术实现的，通过对飞秒超短脉冲的时域、频域以及传输等 构是将待测脉冲通过具有一定反射率的介质膜分束镜使之分 特性的测量获得与脉冲相互作用的物质的物理、化学特性。 成光强基本相等的两柬，一束作为探测脉冲，另一束作为开 同时，测量技术的发展对飞秒激光技术本身的发展也有巨大 关脉冲。为了减小分束镜对待测脉冲的影响，分束镜基片的 的推动作用，对研制更短脉冲激光器具有巨大的指导作用。 厚度需要加工的非常薄，有的甚至只有5微米厚，而且还要保 目前飞秒脉冲测量方法主要有，自相关法“·“，频率分 证表面平整度和基底强度，这是比较难加工的。由于超短脉 冲具有比较宽的光谱，因此需要分束镜能够在宽光谱范围内 grating，FROG)和 辨光学开关法断1(Frequency．resolvedoptical fo 的进行合理的分束，这样的膜层成本比较高。 光谱位相相干电场重构法眦卅(Spectralphaseinterferometry directelectricfield 2原理 reconstruction，SPIDER)。 自相关法是飞秒超短脉冲测量方法中发展较早，比较成 熟的方法。自相关法测量的是脉冲的自相关强度，根据自相 1971年最早提出，他们设计出了一种能够产生一维或二维的 关的多值特性特点，由自相关强度得到脉冲的时域形状可能 等光强阵列光束的特殊孔径光栅。这种光栅后来被称为达曼 并不是真实的脉冲8，另外自相关法并不能得到脉冲的相位信 光栅。根据达曼光栅的分束性质本文提出了一种利用反射式 息，因此自相关法只能作为一种辅助的手段观察脉冲时域宽 达曼光栅代替分束镜的全反式超短脉冲测量装置[10】。达曼 度。光谱