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透射式硅基液晶微显示器设计及工艺方法研究
李超1-21杨洪宝1．2★，杨淼1．2，曹允1。2，樊卫华1‘2，王绪丰1．2
63．com
联系作者：y_abao@l
摘要：本文设计并研制了一种单色透射式硅基液晶微显示器，详细论述了透射式硅基液晶微显示器的整个研制工艺流程。为实现透射式结构，驱动背板
芯片采用SOl
CMOS工艺设计流片；使用两次键合的工艺完成了驱动背板芯片硅外延层的剥离和转移，掌握了实现透明背板的关键技术。在此基础上，完
成了SXGA单色透射式硅基液晶微显示器的试制。
关键词：微显示器；透射式硅基液晶；集成电路外延层剥离与转移
of and for
Studydesign transmissiveLCOS
process
LiCha01一，YangHongba01_丛，YangMia01一，CaoYunl一，Fan
Weihual一。WangXufen91·2
flat
(1．National research
paneldisplayengineeringtechnologycenter，Nanjing210016．CHN
2．The55thResearch
InstituteofChinaElectronic 21001
TechnologyGroupCorporation，Nanjing6，CHN)
Corresponding
Writer：YangHongbao
Abstract：lnthis amonochrometransmissiveLCOS
study hasbeen andfabricated．Describe
micro—display
designed thoroughly
Theentire offabricationhasbeendiscussed orderto
process realizetransmissive withdriver
thoroughly．In structure。backplane
was andfabricatewith
designed SOICMOS and Of IChasbeenachieved
technique．Lifting—offtransferringepitaxiallayerdriving
two onthe
by above，theSXGAmonochrometransmissiveLCOS was
bondingsteps．Basis
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