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圆盘转动方式批量化制备大面积双面YBa Cu O -高温超导薄膜 2 3 7 李 弢 雷跃刚 王霈文 王 萍 古宏伟 （有色金属研究总院超导材料研究中心，北京 100088） 摘 要：报道了一种新型的、基于圆盘转动加热方式、多靶直流磁控溅射批量化制备大面积高温超导 YBa2Cu3O7- （YBCO ）薄膜的方法。此方法可以一次性制备3 英寸双面 YBCO 薄膜 12 片。研究了制备双面薄膜的取向、双面 Jc 一致性以及Tc 性能。结果表明：在 750℃温度下批量化制备的YBCO 薄膜具有良好的c 轴取向，双面Jc 均值大于 3.0 MA/cm2 ，且分布均匀；微波表面电阻0.460.71 m，Tc88 K。实验证实采用圆盘转动加热、对靶溅射方法是一 种批量化制备高性能大面积双面高温超导薄膜的可行途径。 关键词：大面积双面YBCO 薄膜；高温超导；直流磁控溅射；批量化制备 1 引 言 作为超导微波电子学器件的基础材料，大面积双面高温超导薄膜的制备成本已经影响到超导微 波器件的发展。其中，大面积双面单晶氧化物基片如LaAlO 、MgO 等是高成本的来源之一。经过“十 3 五”期间的努力，已经达到高质量、国产化的水平，并改善了 LaAlO3 的高温畴转变特性，使之更适 [1,2] 于实际应用 。另外一个重要的制约因素是批量化水平。批量化制备不仅可以改善大面积双面超导 薄膜的一致性，而且更可大幅度降低薄膜制备成本，为超导电子学器件的广泛使用提供支持。 [3] 目前外延制备大面积双面YBa Cu O （YBCO ）超导薄膜主要有直流(磁控)溅射 、激光脉冲 2 3 7-? [4] [5] 沉积 、共蒸发 等方式。在几种制备高性能大面积双面高温超导薄膜的方法中。批量化水平与性能 [6] 相适应最好的是德国THEVA 公司利用共蒸发方法制备的双面超导薄膜 。目前，THEVA 公司可以 制备直径达 8 英寸的双面超导薄膜，批量化水平大于每次 12 片。而利用激光脉冲沉积、直流溅射 等方法目前已经能制备出性能优异的大面积双面YBCO 薄膜，但制备基本限于每次一片的低批量化 水平。 本文报道了一种新型的、以圆盘转动加热方式、多靶磁控溅射沉积YBCO 薄膜的方法。该方法 一次可在f3 英寸的单晶基片上溅射制备 12 片YBCO 双面薄膜。制备的薄膜性能优良，一致性好， 满足超导微波电子学器件的使用要求。 2 实 验 2.1 多靶溅射系统构成 [7] 本系统由转动加热装置、转动传动系统以及溅射系统构成 。转动传动系统中，转动轴连接样 品盘，样品盘上可一次性安装16 片两英寸或 12 片三英寸双面单晶氧化物基片，用来制备双面超导 薄膜。系统的结构示意图如图1 所示。批量化制备大面积双面YBCO 薄膜的原理图如图2 所示。图 中已安放多片基片的样品盘按箭头所指方向作圆周运动，样品顺序通过溅射区域，均匀接受溅射物 质，生长YBCO 薄膜。 27 图1. 直流磁控溅射系统结构图 Fig 1. Structure of DC magnetron sputtering system 图2. 加热转动批量化制备大面积双面YBCO 超导薄膜原理图 2.2 工艺条件 实验采用直流