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p-GaAs同质结太赫兹探测器的优化与性能.pdf

第 34卷第 l期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo1.34,No.1 2015年 2月 J.InflaredM illim .W aves February,2015 文章编号:1001—9014(2015)O1—0029—07 DOI:10.3724/SP.J.1010.2015.00029 P-GaAs同质结太赫兹探测器的优化与性能 钱 飞,王天盟,张月蘅 ,沈文忠 (上海交通大学 物理与天文系 人工结构及量子调控教育部重点实验室,上海 200240) 摘要:从提高p-GaAs同质结太赫兹探测器量子效率出发,在考虑温度和偏压等参数的影响后,优化了谐振腔增强 的p-GaAs同质结太赫兹探测器的材料及结构参数,使探测器的量子效率提高到了17%.并计算了探测器的响应 率、探测率和偏压、温度、光谱频率的关系,得到了最佳工作偏压(10~40mV)、最佳工作温度 (8K)和最大探测率 (4.1×10 cmHz /w).而通过施加一对匹配的反射镜来构造谐振腔的设计,所能获得的极限量子效率为26%, 极限探测率和响应率分别为5.7×10 cmHz /W、25.9A/W. 关 键 词:p-GaAs同质结太赫兹探测器;谐振器增强;量子效率;探测率 中图分类号:0047 文献标识码 :A OptimizationandperformanceofP-GaAshomojunctionTHzdetectors QIANFei, WANGTian—Meng, ZHANGYue—Heng , SHENWen—Zhong (KeyLaboratoryofArtificialStructuresandQuantumControl,MinistryofEducation, Departmentofphysicsandastronomy,ShanghaiJiaoTonguniversity,Shanghai 200240,China) Abstract:InordertoimprovethequantumefficiencyofTHzdetectorsmadeofp-GaAshomojunction,theeffectsof temperatureandbiasvoltageweretaken intoaccount.Byoptimizingthematerialsnad structureparametersofthereso— nantcavityenhancedp-GaAsHIW lPdetectors,itsquantum efficiencywasincreasedto 17% .Therelationshipsamong hteresponsivitynaddetectivityofthedetector,biasvoltage,temperatureandspectralrfequencyweresimulated,leading toanoptimizedbiasvoltagerange(10~40mV),na optimaltemperature(8K)andamaximum detectivity(4.1× 10ⅢcmHz¨/w).Byapplyingapairofmatchedmirror,theultimatequantumefficiency,thedetectivitynadhtere— sponsivityrae26% ,5.7×10。cm Hz /W and25 . 9A/W ,respectively. Keywords:p-GaAshomojunctionTHzdetectors,resonantcavityenhnace,qunatumefficiency,detectivity PACS:78.20..e

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