复型及金属薄膜的制备技术.docVIP

复型及金属薄膜的制备技术 一、实验目的 1．了解复型样品的种类、制备方法和成像机理。 2．掌握金属薄膜的制备方法。 二、复型样品的种类、制备方法和成像机理 我们把复制的膜称为复型，由于它具有许多优点，至今在金属显微组织分析以及断口分析中仍被广泛采用。由于目前金属断口样品大部分直接在扫描电镜中观察和分析，因此下面以金相样品为例说明金属表面复型的制备技术。 复型样品成像以非晶体原子对入射电子的非相干散射和透射电镜小角度成像为基础，根据上课所学的知识可知，质量厚度衬度是复型样品成像的衬度。它只适用于非晶形的样品。 通常复型按所用的复型材料和制备方法有以下五种类型： （l）塑料一级复型 在浸蚀好的金相样品表面，用1％火棉胶醋酸戊脂溶液或AC纸等直接把样品表面浮雕特征复制下来，这种复型称为塑料一级复型。多数用它作二级复型的一级复型。 （2）碳一级复型 在高真空室中向已制备好的金相样品表面直接喷碳而得到的碳薄膜，称为碳一级复型。碳一级复型分辨率高达2－5nm，性能稳定，假象少。但一般通过化学或电解腐蚀 的方法分离碳膜时，使金相样品表面遭到了破坏，操作也比较麻烦。 （3）塑料一碳二级复型 将在金相样品表面上制备好的塑料一级复型再置于高真空室中，垂直方向喷碳。然后 溶去塑料复型而得到碳的间接复型，这种复型称为塑料一碳二