恒温电容瞬态时间乘积谱.pdfVIP

第16卷增刊 数 据 采 集 与 处 理 V01．16 Su”I_ ofD^ta 8L 2001年10月 JoⅡn^l A。quisitionPro螂si“g Oct．2001 恒温电容瞬态时间乘积谱 陈开茅 陈 源 傅济时 张伯蕊 朱美栋 乔永平 孙允希 武兰青 (北京大学物理系北京，100871) 抽蔓惜境的曝炮蜒电容肆盎讲(DLTs)是典型的截羁幢千拽木，它兵有较高的曼敏度，蠢嘲量比 基体原干难度小9～10十盘t曩的诛炮艇杂质和t倍．蝽而开于主綦节半平体(如固体c。(c”)， GaN幸)苯虎量的潮t，选种潮量方法特面临高温潮量的禹堆．本文曩出的七掌瞬志时问采积* (ICn葛)，可啦在童温附近潮量艰翠的洋能垭．菁速捌和件饨DU3相近的是教度．文中用选一方 法研宽丁“／cH日体，p-GaA5姑构的耀胞垃，岵采是现Cm一体t中存在雨十空兜倍阱．日．和凰， 它们的镌■舟剐为Ev+1．037eV和Ev+O．856eV．密度分捌为8．6×10“／cm‘和6．5×1010／cml． 关■调，电容肆寿I时间I毫积谱}薄抱虹 中圈分类号：1M834．2|0182．4 Isothermal Transience—Tjme Capacitance Spectroscopy c^删K口f优∞C^棚h姗凡‘，删 Z^勰gB州f z^4胁i加gQ抽。‰鼢抽gS“nhn矗ⅣⅡ工dn口in譬 100871，P．R．Chi帖) (DepIn呲ntofPhy3ics，Peki叫Univ芒rsityBe妇i119 AbshctCo吖entional a de— deep-leveltra啮ient spectr∞∞py(DLTS)istypical tection theweak has andcan very se船itivity techn岫岫for 3i聃a1．It kghdetecting det∞tthe with defectsa ofaⅡorderoflO一9～10一10 deep—Ievelimpuriti∞or de∞ity ofthehost forthe kvel of atomk measu托ment de衄ity(～1022／cm3)．Butdeep widebandsemiconductorssuchas isthe of C6D(Cfo)，GaN，there gap d“fi