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基于四象限探测器的离焦检测 陈培祖1，隋国荣1 1)上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093 摘要：利用四象限探测器，开发研制了一种新型稳定的离焦量检测电路。由于近焦和远焦时， 反射光束将会分别使探测器的不同向两个光敏面有较多的光通量，并转换出的电压关系，即 离焦值。设计对电路进行了信号放大和滤波处理等方面的优化。通过统计实验测试，具有很 好的精度。 关键词：四象限探测，离焦量检测， 近焦，远焦，电路优化 中图分类号TN252 文献标识码A DetectionoffoCUSdeviationBasedon quadrantphotodiode Peizu Sui’ Chen’，Guorong for of andElectronInformation of Science (1．CollegeOptics Engineering，UniversityShanghai and 200093． Technology,Shanghai the anewstabledetectioncircuitoffocus Abstract：Usingquadrantphotodiode，developed will two deviation．Asnearfocusandfar reflected detectorbe focus，the beam，respectively，the the focus different surfacetohavemore converl flux，and relationship，that photosensitive voltage error thecircuitofthe and other ofthe values．Design signalamplificationfiltering,andaspects statistical tests，withgood optimization．Throughexperimental accuracy． offocus deviation；nearfocus；farfocus；optimization Keywords：quadrantphotodiode；detection of circuit； 1引言 离焦检测技术被广泛应用于光存储、激光直写、药品检测和聚焦伺服技术等领域1卜7】。 目前离焦检测的方法有多种，根据基本光学原理分类有临界角法、像散法、共焦法、针孔法、 傅科刀1：3法和偏心光束法等。其中像散法被广泛使用，精度高，简便易行16,71。像散法分光 路和电路检测两大部分，其中电路检测部分主要以四象限探测器为核心探测元件。此外，为 实现高精度的离焦量检测，需要对四象限探测器所获取的微弱电信号，要进行前置放大。二 级放大，滤波处理等优化设计，并在电路优化设计和实验中，需要对暗电流、温漂等参数进 行大量严格实验，并根据实际实验参